Agbara VETTi ngbe lẹẹdi ilana PECVD jẹ ohun elo agbara to ga julọ ti a ṣe deede fun ilana PECVD (ilọsiwaju ifasilẹ oru kẹmika pilasima). Ẹya graphite yii jẹ ti mimọ-giga, ohun elo graphite iwuwo giga, pẹlu iwọn otutu giga ti o dara julọ, resistance ipata, iduroṣinṣin iwọn ati awọn abuda miiran, le pese pẹpẹ ti ngbe iduroṣinṣin fun ilana PECVD, lati rii daju iṣọkan ati flatness ti fiimu tinrin. ifisilẹ.
Awọn gbigbe ayaworan fun ilana PECVD ni awọn abuda wọnyi:
▪ Iwa mimọ to gaju: akoonu alaimọ pupọ pupọ, yago fun idoti fiimu ati idaniloju didara fiimu.
▪ Iwọn giga: iwuwo giga, agbara ẹrọ ti o ga, ni anfani lati koju iwọn otutu giga ati agbegbe PECVD titẹ giga.
▪ Iduroṣinṣin iwọn to dara: iyipada iwọn kekere ni iwọn otutu ti o ga, ni idaniloju iduroṣinṣin ilana.
▪ Imudara gbigbona ti o dara julọ: gbe ooru lọna ti o munadoko lati ṣe idiwọ gbigbona wafer.
▪ Atako ipata ti o lagbara: ni anfani lati koju ogbara nipasẹ oriṣiriṣi awọn gaasi ipata ati pilasima.
▪ Iṣẹ adani: Awọn gbigbe graphite ti awọn titobi oriṣiriṣi ati awọn apẹrẹ le jẹ adani ni ibamu si awọn iwulo alabara.
Ohun elo graphite lati SGL:
| Aṣoju paramita: R6510 | |||
| Atọka | Igbeyewo bošewa | Iye | Ẹyọ |
| Apapọ ọkà iwọn | ISO 13320 | 10 | μm |
| Olopobobo iwuwo | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
| Ṣii porosity | DIN66133 | 10 | % |
| Iwọn pore alabọde | DIN66133 | 1.8 | μm |
| Igbalaaye | DIN 51935 | 0.06 | cm²/s |
| Rockwell líle HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Specific itanna resistivity | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Agbara Flexural | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Agbara titẹ | DIN 51910 | 130 | MPa |
| modulus ọdọ | DIN 51915 | 11.5×10³ | MPa |
| Imugboroosi gbona (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| Imudara igbona (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
O jẹ apẹrẹ pataki fun iṣelọpọ iṣelọpọ oorun ti o ga, ti n ṣe atilẹyin sisẹ wafer titobi G12 nla. Apẹrẹ ti ngbe iṣapeye pọ si ilọjade pọsi, ṣiṣe awọn oṣuwọn ikore ti o ga julọ ati awọn idiyele iṣelọpọ kekere.
| Nkan | Iru | Nọmba wafer ti ngbe |
| PEVCD Grephite ọkọ - The 156 jara | 156-13 grephite ọkọ | 144 |
| 156-19 grephite ọkọ | 216 | |
| 156-21 grephite ọkọ | 240 | |
| 156-23 lẹẹdi ọkọ | 308 | |
| PEVCD Grephite ọkọ - The 125 jara | 125-15 grephite ọkọ | 196 |
| 125-19 grephite ọkọ | 252 | |
| 125-21 grphite ọkọ | 280 |
