Agbara VET nlo mimọ-giga pupọohun alumọni carbide (SiC)akoso nipa kemikali oru iwadi oro(CVD)bi orisun ohun elo fun dagbaAwọn kirisita SiCnipasẹ ti ara oru gbigbe (PVT). Ni PVT, awọn ohun elo orisun ti wa ni ti kojọpọ sinu kancrucibleati sublimated pẹlẹpẹlẹ a irugbin gara.
A nilo orisun mimọ ti o ga lati ṣe didara didaraAwọn kirisita SiC.
Agbara VET ṣe amọja ni ipese SiC-patiku nla fun PVT nitori pe o ni iwuwo ti o ga ju awọn ohun elo patiku kekere ti o ṣẹda nipasẹ ijona lairotẹlẹ ti Si ati awọn gaasi ti o ni C. Ko dabi isunmọ-alakoso ti o lagbara tabi iṣesi ti Si ati C, ko nilo ileru isọdọkan iyasọtọ tabi igbesẹ isunmọ akoko ti n gba ninu ileru idagba kan. Awọn ohun elo ti o tobi-patiku ni o ni a fere ibakan evaporation oṣuwọn, eyi ti o mu ṣiṣe-si-run uniformity.
Iṣaaju:
1. Mura CVD-SiC Àkọsílẹ orisun: Ni akọkọ, o nilo lati ṣeto ipilẹ CVD-SiC ti o ga julọ, eyiti o jẹ igbagbogbo ti mimọ ati iwuwo giga. Eyi le ṣee pese sile nipasẹ ọna fifisilẹ ikemika (CVD) labẹ awọn ipo ifaseyin ti o yẹ.
2. Igbaradi sobusitireti: Yan sobusitireti ti o yẹ bi sobusitireti fun idagbasoke kristali ẹyọkan SiC. Awọn ohun elo sobusitireti ti o wọpọ pẹlu ohun alumọni carbide, silikoni nitride, ati bẹbẹ lọ, eyiti o ni ibaamu ti o dara pẹlu SiC kristali ẹyọkan ti ndagba.
3. Alapapo ati sublimation: Gbe awọn CVD-SiC Àkọsílẹ orisun ati sobusitireti ni a ga-otutu ileru ki o si pese yẹ sublimation awọn ipo. Sublimation tumọ si pe ni iwọn otutu ti o ga, orisun idina taara yipada lati ri to si ipo oru, ati lẹhinna tun-condenses lori dada sobusitireti lati fẹlẹfẹlẹ kan gara gara.
4. Iṣakoso iwọn otutu: Lakoko ilana sublimation, iwọn otutu iwọn otutu ati pinpin iwọn otutu nilo lati wa ni iṣakoso ni deede lati ṣe igbelaruge sublimation ti orisun bulọọki ati idagba ti awọn kirisita ẹyọkan. Iṣakoso iwọn otutu ti o yẹ le ṣaṣeyọri didara gara ati oṣuwọn idagbasoke.
5. Atmosphere Iṣakoso: Nigba ti sublimation ilana, awọn lenu bugbamu tun nilo lati wa ni dari. Gaasi inert ti o ga julọ (gẹgẹbi argon) ni a maa n lo bi gaasi ti ngbe lati ṣetọju titẹ ti o yẹ ati mimọ ati ṣe idiwọ ibajẹ nipasẹ awọn aimọ.
6. Idagba kirisita ẹyọkan: Orisun bulọọki CVD-SiC n gba iyipada alakoso oru lakoko ilana isọdọtun ati tun ṣe atunṣe lori dada sobusitireti lati ṣe agbekalẹ eto gara kan kan. Idagba iyara ti awọn kirisita ẹyọkan SiC le ṣe aṣeyọri nipasẹ awọn ipo sublimation ti o yẹ ati iṣakoso iwọn otutu.
Fifẹ gba ọ lati ṣabẹwo si ile-iṣẹ wa, jẹ ki a ni ijiroro siwaju!
