Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptor

Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptor

Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptorjẹ atilẹyin ti a ṣe apẹrẹ pataki ati ẹrọ alapapo ti a lo lati mu ati ki o gbona awọn sobusitireti semikondokito lakoko awọn ilana iṣelọpọ bii Deposition tabi awọn ilana Epitaxy.

Eto rẹ pẹlu aṣa iyipo tabi apẹrẹ agba die-die, awọn ẹya dada ọpọlọpọ awọn apo tabi awọn iru ẹrọ fun gbigbe awọn wafers, le jẹ apẹrẹ to lagbara tabi ṣofo, da lori ọna alapapo.

Awọn iṣẹ akọkọ ti susceptor agba epitaxial:

- Atilẹyin sobusitireti: ni aabo ni aabo ọpọlọpọ awọn wafers semikondokito;
-Oru orisun: pese awọn iwọn otutu giga ti o nilo fun idagbasoke nipasẹ alapapo;
-Iṣọkan iwọn otutu: ṣe idaniloju alapapo aṣọ ti awọn sobusitireti;
-Yipo: nigbagbogbo n yi lakoko idagbasoke lati mu iwọn otutu dara si ati isokan pinpin gaasi.

Ilana iṣẹ ti Epi graphite barrel susceptor:
- Ninu riakito epitaxial, ifura agba naa jẹ kikan si iwọn otutu ti o nilo (ni deede 1000 ℃-1200 ℃ fun epitaxy silikoni);
-Ara agba agba n yi lati rii daju pinpin iwọn otutu aṣọ ati ṣiṣan gaasi;
Awọn gaasi ifasẹyin decompose ni awọn iwọn otutu giga, ti o ṣẹda awọn ipele epitaxial lori dada sobusitireti.

Awọn ohun elo:
-Ni akọkọ ti a lo fun idagbasoke silikoni epitaxial
- Bakannaa wulo fun epitaxy ti awọn ohun elo semikondokito miiran bi GaAs, InP, ati bẹbẹ lọ.

Agbara VET lo lẹẹdi mimọ giga pẹlu awọ CVD-SiC lati jẹki iduroṣinṣin kemikali:

Awọn anfani ti VET Energy Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptor:

-Iduroṣinṣin iwọn otutu;
-Ti o dara gbona uniformity;
-Le ṣe ilana awọn sobusitireti lọpọlọpọ nigbakanna, imudarasi ṣiṣe iṣelọpọ;
-Kemikali inert, mimu agbegbe idagbasoke mimọ-giga.