וועטער ענערגיעסיליציום קאַרבידע קאָוטינג גראַפיטע טאַץ, פּלאַטע, און קאָווער איז ענדזשאַנירד צו צושטעלן שפּיץ-ריי פאָרשטעלונג, פּראַוויידינג פאַרלאָזלעך און קאָנסיסטענט אָפּעראַציע איבער עקסטענדעד נוצן, מאכן עס אַ יקערדיק ברירה פֿאַר ווייפער פּראַסעסינג אַפּלאַקיישאַנז אין די סעמיקאַנדאַקטער אינדוסטריע. דעם הויך-פאָרשטעלונגסיליציום קאַרבידע קאָוטינג גראַפיטע פּלאַטעבאָוס יקסעפּשאַנאַל היץ קעגנשטעל, העכער טערמאַל יונאַפאָרמאַטי און בוילעט כעמישער פעסטקייַט, ספּעציעל אין הויך-טעמפּעראַטור טנאָים. זייַן הויך-ריינקייַט קאַנסטראַקשאַן, קאַפּאַלד מיט אַוואַנסירטע יראָוזשאַן קעגנשטעל, מאכט עס ינדיספּענסאַבאַל פֿאַר פאדערן ינווייראַנמאַנץ אַזאַ וויMOCVD סאַסעפּטערז.
שליסל פֿעיִקייטן פון סיליציום קאַרבידע קאָוטינג גראַפייט טאַץ, טעלער און קאָווער
1. הויך-טעמפּעראַטור אָקסידאַטיאָן קעגנשטעל:וויטסטאַנד טעמפּעראַטורעס אַרויף צו 1700 ℃, וואָס אַלאַוז עס צו אַרבעטן רילייאַבלי אין עקסטרעם טנאָים.
2. הויך ריינקייַט און טערמאַל יונאַפאָרמאַטי:קאָנסיסטענט הויך ריינקייַט און אפילו היץ פאַרשפּרייטונג זענען קריטיש פֿאַר MOCVD אַפּלאַקיישאַנז.
3. יקסעפּשאַנאַל קעראָוזשאַן קעגנשטעל:קעגנשטעליק צו אַסאַדז, אַלקאַליס, סאָלץ און פאַרשידן אָרגאַניק רייידזשאַנץ, ינשורינג לאַנג-טערמין פעסטקייַט אין דייווערס ינווייראַנמאַנץ.
4. הויך כאַרדנאַס און סאָליד ייבערפלאַך:פֿעיִקייטן אַ געדיכט ייבערפלאַך מיט פייַן פּאַרטיקאַלז, ימפּרוווינג קוילעלדיק געווער און קעגנשטעל צו טראָגן.
5. עקסטענדעד סערוויס לעבן:ענדזשאַנירד פֿאַר לאָנדזשעוואַטי, אַוטפּערפאָרמינג קאַנווענשאַנאַלסיליציום קאַרבידע-קאָוטאַד גראַפייט סאַסעפּטערזאין האַרב סעמיקאַנדאַקטער פּראַסעסינג ינווייראַנמאַנץ.
CVD SiC薄膜基本物理性能 יקערדיק גשמיות פּראָפּערטיעס פון CVD SiCקאָוטינג | |
性质 / פאַרמאָג | 典型数值 / טיפּיש ווערט |
晶体结构 / קריסטאַל סטרוקטור | פקק β פאַסע多晶,主要为(111)取向 |
密度 / געדיכטקייַט | 3.21 ג/קם³ |
硬度 / כאַרדנאַס | 2500 维氏硬度(500ג מאַסע) |
晶粒大小 / קערל גרייס | 2~10μם |
纯度 / כעמישער ריינקייַט | 99.99995% |
热容 / היץ קאַפּאַסיטי | 640 דזש·קג-1·ק-1 |
升华温度 / סובלימאַטיאָן טעמפּעראַטור | 2700℃ |
抗弯强度 / פלעקסוראַל סטרענגטה | 415 מפּאַ רט 4-פונט |
杨氏模量 / יונג ס מאָדולע | 430 גפּאַ 4 פּט בייגן, 1300 ℃ |
导热系数 / טערמאַלקאַנדאַקטיוואַטי | 300 וו·ם-1·ק-1 |
热膨胀系数 / טערמאַל יקספּאַנשאַן (CTE) | 4.5 × 10-6K-1 |
VET Energy ס עקספּערטיז אין קאַסטאַמייזד גראַפיטע און סיליציום קאַרבידע סאַלושאַנז
ווי אַ טראַסטיד פאַבריקאַנט, VET Energy ספּעשאַלייזיז אין מנהג-דיזיינד גראַפייט סאַסעפּטערז און סיליציום קאַרבידע קאָוטינג סאַלושאַנז. מיר פאָרשלאָגן אַ קייט פון פּראָדוקטן טיילערד פֿאַר די סעמיקאַנדאַקטער און פאָטאָוואָלטאַיק ינדאַסטריז, אַרייַנגערעכנטסיק-קאָוטאַד גראַפייט קאַמפּאָונאַנץווי טאַץ, פּלאַטעס און קאָווערס. אונדזער פּראָדוקט ליינאַפּ אויך כולל פאַרשידן קאָוטינג אָפּציעס, אַזאַ וויSiC קאָוטינג פֿאַר MOCVD, טאַק קאָוטינג, גלאַסי טשאַד קאָוטינג, און פּיראָליטיק טשאַד קאָוטינג, ינשורינג מיר טרעפן די וועריינג פאדערונגען פון הויך-טעק ינדאַסטריז.
אונדזער יקספּיריאַנסט טעכניש מאַנשאַפֿט, קאַמפּרייזינג עקספּערץ פון שפּיץ דינער פאָרשונג אינסטיטוציעס, גיט פולשטענדיק מאַטעריאַל סאַלושאַנז פֿאַר קלייאַנץ. מיר קאַנטיניואַסלי ראַפינירן אונדזער אַוואַנסירטע פּראַסעסאַז, אַרייַנגערעכנט אַ ויסשליסיק פּאַטאַנטאַד טעכנאָלאָגיע וואָס ימפּרוווז די באַנדינג צווישן די סיליציום קאַרבידע קאָוטינג און די גראַפיטע סאַבסטרייט, רידוסינג די ריזיקירן פון דיטאַטשמאַנט און ווייַטער פאַרברייטערן די פּראָדוקט ס לעבן.
אַפּפּליקאַטיאָנס און בענעפיץ אין סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג
דיסיליציום קאַרבידע קאָוטינג פֿאַר MOCVDמאכט די גראַפייט סאַסעפּטערז העכסט עפעקטיוו אין הויך-טעמפּעראַטור, קעראָוסיוו ינווייראַנמאַנץ. צי זיי זענען געניצט ווי גראַפייט ווייפער קאַריערז אָדער אנדערע MOCVD קאַמפּאָונאַנץ, די סיליציום קאַרבידע-קאָוטאַד סאַסעפּטערז באַווייַזן העכער געווער און פאָרשטעלונג. פֿאַר די זוכן פאַרלאָזלעך סאַלושאַנז אין דיסיק-קאָוטאַד גראַפייט סאַסעפּטאָרמאַרק, VET Energy ס סיליציום קאַרבידע-קאָוטאַד גראַפייט טאַץ, טעלער און דעקן פאָרשלאָגן אַ געזונט און ווערסאַטאַל אָפּציע וואָס טרעפן די שטרענג פאדערונגען פון די סעמיקאַנדאַקטער אינדוסטריע.
דורך פאָוקיסינג אויף אַוואַנסירטע מאַטעריאַל וויסנשאַפֿט, VET Energy איז קאַמיטאַד צו צושטעלן הויך-פאָרשטעלונג סיק-קאָוטאַד גראַפייט סאַלושאַנז וואָס פירן כידעש אין סעמיקאַנדאַקטער פּראַסעסינג און ענשור פאַרלאָזלעך פאָרשטעלונג אין אַלע MOCVD-פֿאַרבונדענע אַפּלאַקיישאַנז.
VET Energy איז דער עמעס פאַבריקאַנט פון קאַסטאַמייזד גראַפייט און סיליציום קאַרבידע פּראָדוקטן מיט פאַרשידענע קאָאַטינגס ווי סיק קאָוטינג, טאַק קאָוטינג, גלאַסי טשאַד קאָוטינג, פּיראָליטיק טשאַד קאָוטינג, אאז"ו ו, קענען צושטעלן פאַרשידן קאַסטאַמייזד פּאַרץ פֿאַר סעמיקאַנדאַקטער און פאָטאָוואָלטאַיק אינדוסטריע.
אונדזער טעכניש מאַנשאַפֿט קומט פון שפּיץ דינער פאָרשונג אינסטיטוציעס, קענען צושטעלן מער פאַכמאַן מאַטעריאַל סאַלושאַנז פֿאַר איר.
מיר קאַנטיניואַסלי אַנטוויקלען אַוואַנסירטע פּראַסעסאַז צו צושטעלן מער אַוואַנסירטע מאַטעריאַלס, און האָבן אַ ויסשליסיק פּאַטאַנטאַד טעכנאָלאָגיע, וואָס קענען מאַכן די באַנדינג צווישן די קאָוטינג און די סאַבסטרייט טייטער און ווייניקער פּראָנע צו דיטאַטשמאַנט.
באַגריסן איר צו באַזוכן אונדזער פאַבריק, לאָזן אונדז האָבן ווייַטער דיסקוסיע!