פּרינציפּ פון פּעקווד גראַפייט שיפל פֿאַר זונ - צעל (קאָאַטינג) | וועטער ענערגיע

ערשטער פון אַלע, מיר דאַרפֿן צו וויסןPECVD(פּלאַזמאַ ענכאַנסט כעמישער פארע דעפּאַזישאַן). פּלאַזמע איז די ינטענסאַפאַקיישאַן פון די טערמאַל באַוועגונג פון מאַטעריאַל מאַלאַקיולז. די צונויפשטויס צווישן זיי וועט מאַכן די גאַז מאַלאַקיולז ייאַנייזד, און דער מאַטעריאַל וועט ווערן אַ געמיש פון פריי מאָווינג positive ייאַנז, עלעקטראָנס און נייטראַל פּאַרטיקאַלז וואָס ינטעראַקט מיט יעדער אנדערער.

 

עס איז עסטימאַטעד אַז די אָפּשפּיגלונג אָנווער קורס פון ליכט אויף די סיליציום ייבערפלאַך איז ווי הויך ווי וועגן 35%. די אַנטי-אָפּשפּיגלונג פילם קענען שטארק פֿאַרבעסערן די יוטאַלאַזיישאַן קורס פון זונ ליכט דורך די באַטאַרייע צעל, וואָס העלפּס צו פאַרגרעסערן די פאָטאָדזשענערייטיד קראַנט געדיכטקייַט און אַזוי פֿאַרבעסערן די קאַנווערזשאַן עפעקטיווקייַט. אין דער זעלביקער צייט, די הידראָגען אין די פילם פּאַסיווייץ די ייבערפלאַך פון די באַטאַרייע צעל, ראַדוסאַז די ייבערפלאַך רעקאָמבינאַטיאָן קורס פון די ימיטער קנופּ, ראַדוסאַז די טונקל קראַנט, ינקריסיז די וואָולטידזש פון עפענען קרייַז און ימפּרוווז די פאָוטאָועלעקטריק קאַנווערזשאַן עפעקטיווקייַט. די הויך-טעמפּעראַטור ינסטאַנטאַניאַס אַנילינג אין די ברענען-דורך פּראָצעס ברייקס עטלעכע סי-ה און נה קייטן, און די באפרייט ה ווייַטער סטרענגטאַנז די פּאַסיוויישאַן פון די באַטאַרייע.

 

זינט פאָטאָוואָלטאַיק-מיינונג סיליציום מאַטעריאַלס ינעוואַטאַבלי אַנטהאַלטן אַ גרויס סומע פון ​​ימפּיוראַטיז און חסרונות, די מינאָריטעט טרעגער לעבן און דיפיוזשאַן לענג אין סיליציום זענען רידוסט, ריזאַלטינג אין אַ פאַרקלענערן אין די קאַנווערזשאַן עפעקטיווקייַט פון די באַטאַרייע. ה קענען רעאַגירן מיט חסרונות אָדער ימפּיוראַטיז אין סיליציום, דערמיט טראַנספערינג די ענערגיע באַנד אין די באַנדגאַפּ אין די וואַלענס באַנד אָדער קאַנדאַקשאַן באַנד.

 

1. פּעקווד פּרינציפּ

די PECVD סיסטעם איז אַ סעריע פון ​​​​גענעראַטאָרס ניצןPECVD גראַפייט שיפל און הויך-אָפטקייַט פּלאַזמע עקססיטערס. די פּלאַזמע גענעראַטאָר איז גלייַך אינסטאַלירן אין די מיטן פון די קאָוטינג טעלער צו רעאַגירן אונטער נידעריק דרוק און עלעוואַטעד טעמפּעראַטור. די אַקטיוו גאַסאַז געניצט זענען סילאַן סיה 4 און אַמאָוניאַ נה 3. די גאַסאַז אַקט אויף די סיליציום ניטריד סטאָרד אויף די סיליציום ווייפער. פאַרשידענע רעפראַקטיווע ינדיסעס קענען זיין באקומען דורך טשאַנגינג די פאַרהעלטעניש פון סילאַן צו אַמאָוניאַ. בעשאַס די דעפּאַזישאַן פּראָצעס, אַ גרויס סומע פון ​​הידראָגען אַטאָמס און הידראָגען ייאַנז זענען דזשענערייטאַד, וואָס מאכט די הידראָגען פּאַסיוויישאַן פון די ווייפער זייער גוט. אין אַ וואַקוום און אַ אַמביאַנט טעמפּעראַטור פון 480 דיגריז סעלסיוס, אַ פּלאַסט פון SixNy איז קאָוטאַד אויף די ייבערפלאַך פון די סיליציום ווייפער דורך קאַנדאַקטינג דיPECVD גראַפייט שיפל.

 

3סיה4+4נה3 → סי3נ4+12ה2

 

2. Si3N4

די קאָליר פון Si3N4 פילם ענדערונגען מיט זיין גרעב. אין אַלגעמיין, די ידעאַל גרעב איז צווישן 75 און 80 נם, וואָס איז טונקל בלוי. די רעפראַקטיווע אינדעקס פון Si3N4 פילם איז בעסטער צווישן 2.0 און 2.5. אַלקאָהאָל איז יוזשאַוואַלי געניצט צו מעסטן זייַן רעפראַקטיווע אינדעקס.

ויסגעצייכנט ייבערפלאַך פּאַסיוויישאַן ווירקונג, עפעקטיוו אָפּטיש אַנטי-אָפּשפּיגלונג פאָרשטעלונג (גרעב ריפראַקטיווע אינדעקס וואָס ריכטן), נידעריק טעמפּעראַטור פּראָצעס (יפעקטיוולי רידוסינג קאָס), און די דזשענערייטאַד ה ייאַנז פּאַסיווייט די סיליציום ווייפער ייבערפלאַך.

 

3. פּראָסט ענינים אין קאָוטינג וואַרשטאַט

פילם גרעב: 

די דעפּאַזישאַן צייַט איז אַנדערש פֿאַר פאַרשידענע פילם טהיקנעססעס. די דעפּאַזישאַן צייט זאָל זיין אַפּראָופּרייטלי געוואקסן אָדער דיקריסט לויט די קאָליר פון די קאָוטינג. אויב דער פילם איז כווייטיש, די דעפּאַזישאַן צייט זאָל זיין רידוסט. אויב עס איז רעדיש, עס זאָל זיין אַפּראָופּרייטלי געוואקסן. יעדער שיפל פון פילמס זאָל זיין גאָר באשטעטיקט, און דעפעקטיווע פּראָדוקטן זענען נישט ערלויבט צו לויפן אין דער ווייַטער פּראָצעס. פֿאַר בייַשפּיל, אויב די קאָוטינג איז נעבעך, אַזאַ ווי קאָליר ספּאַץ און וואָטערמאַרקס, די מערסט פּראָסט ייבערפלאַך כווייטינינג, קאָליר חילוק און ווייַס ספּאַץ אויף די פּראָדוקציע שורה זאָל זיין אויסגעקליבן אין צייט. די ייבערפלאַך כווייטינינג איז דער הויפּט געפֿירט דורך די דיק סיליציום ניטריד פילם, וואָס קענען זיין אַדזשאַסטיד דורך אַדזשאַסטינג די פילם דעפּאַזישאַן צייט; די קאָליר חילוק פילם איז דער הויפּט געפֿירט דורך גאַז דרך בלאַקידזש, קוואַרץ רער ליקאַדזש, מייקראַווייוו דורכפאַל, אאז"ו ו; ווייַס ספּאַץ זענען דער הויפּט געפֿירט דורך קליין שוואַרץ ספּאַץ אין די פריערדיקע פּראָצעס. מאָניטאָרינג פון רעפלעקטיוויטי, רעפראַקטיווע אינדעקס, אאז"ו ו, זיכערקייַט פון ספּעציעל גאַסאַז, אאז"ו ו.

 

ווייַס ספּאַץ אויף די ייבערפלאַך:

PECVD איז אַ לעפיערעך וויכטיק פּראָצעס אין זונ - סעלז און אַ וויכטיק גראדן פון די עפעקטיווקייַט פון אַ פירמע 'ס זונ - סעלז. דער PECVD פּראָצעס איז בכלל פאַרנומען, און יעדער פּעקל פון סעלז דאַרף זיין מאָניטאָרעד. עס זענען פילע קאָוטינג אויוון טובז, און יעדער רער בכלל האט הונדערטער פון סעלז (דיפּענדינג אויף די עקוויפּמענט). נאָך טשאַנגינג די פּראָצעס פּאַראַמעטערס, די וועראַפאַקיישאַן ציקל איז לאַנג. קאָוטינג טעכנאָלאָגיע איז אַ טעכנאָלאָגיע וואָס די גאנצע פאָטאָוואָלטאַיק אינדוסטריע אַטאַטשט גרויס וויכטיקייט צו. די עפעקטיווקייַט פון זונ - סעלז קענען זיין ימפּרוווד דורך ימפּרוווינג קאָוטינג טעכנאָלאָגיע. אין דער צוקונפֿט, זונ - צעל ייבערפלאַך טעכנאָלאָגיע קען ווערן אַ ברייקטרו אין די טעאָרעטיש עפעקטיווקייַט פון זונ - סעלז.