ווי צו ריין PECVD גראַפייט שיפל? וועטער ענערגיע

1. דערקענטעניש איידער רייניקונג

1) ווען דיPECVD גראַפייט שיפל/ טרעגער איז געניצט מער ווי 100 צו 150 מאל, דער אָפּעראַטאָר דאַרף צו קאָנטראָלירן די קאָוטינג צושטאַנד אין צייט. אויב עס איז אַ אַבנאָרמאַל קאָוטינג, עס דאַרף זיין קלינד און באשטעטיקט. דער נאָרמאַל קאָוטינג קאָליר פון די סיליציום ווייפער אין די גראַפייט שיפל / טרעגער איז בלוי. אויב די וואַפער האט ניט-בלוי, קייפל פארבן, אָדער די קאָליר חילוק צווישן די ווייפערז איז גרויס, עס איז אַן אַבנאָרמאַל קאָוטינג, און די סיבה פון די אַבנאָרמאַלאַטי דאַרף זיין באשטעטיקט אין צייט.
2) נאָך דעם פּראָצעס פּערסאַנעל פונאַנדערקלייַבן די קאָוטינג צושטאַנד פון דיPECVD גראַפייט שיפל/ טרעגער, זיי וועלן באַשליסן צי די גראַפייט שיפל דאַרף זיין קלינד און צי די קאָרט פונט דאַרף זיין ריפּלייסט, און די גראַפייט שיפל / טרעגער וואָס דאַרף זיין קלינד וועט זיין איבערגעגעבן צו די ויסריכט פּערסאַנעל פֿאַר רייניקונג.

 

3 ) נאך דיגראַפייט שיפל/ טרעגער איז דאַמידזשד, די פּראָדוקציע פּערסאַנעל וועט נעמען אַלע די סיליציום ווייפערז אין די גראַפיטע שיפל און נוצן CDA (קאַמפּרעסט לופט) צו סאָרט אויס די פראַגמאַנץ אין דיגראַפייט שיפל. נאָך קאַמפּלישאַן, די ויסריכט פּערסאַנעל וועט הייבן עס אין די זויער טאַנק וואָס איז צוגעגרייט מיט אַ זיכער פּראָפּאָרציע פון ​​HF לייזונג פֿאַר רייניקונג.

 

2. רייניקונג פון גראַפייט שיפל

עס איז רעקאַמענדיד צו נוצן אַ 15-25% הידראָפלואָריק זויער לייזונג פֿאַר דריי ראָונדס פון רייניקונג, יעדער פֿאַר 4-5 שעה, און פּיריאַדיקלי באַבלינג ניטראָגען בעשאַס די סאָוקינג און רייניקונג פּראָצעס, אַדינג וועגן האַלב אַ שעה פון רייניקונג; טאָן: עס איז נישט רעקאַמענדיד צו נוצן לופט גלייַך ווי די גאַז מקור פֿאַר באַבלינג. נאָך פּיקלינג, שווענקען מיט ריין וואַסער פֿאַר וועגן 10 שעה, און באַשטעטיקן אַז די שיפל איז ונ דורך קלינד. נאָך רייניקונג, ביטע טשעק די ייבערפלאַך פון די שיפל, די גראַפייט קאָרט פונט און די שיפל בויגן שלאָס, און אנדערע טיילן צו זען אויב עס איז קיין סיליציום ניטריד רעזאַדו. דעמאָלט טרוקן לויט די באדערפענישן.

3. רייניקונג פּריקאָשאַנז

א) וויבאלד HF זויער איז א שטארק קעראָוסיוו מאַטעריע און האט א געוויסע וואַלאַטיליטעט, איז עס געפערליך פאר די אָפּערייטערז. דעריבער, אָפּערייטערז אין די רייניקונג פּאָסטן מוזן נעמען זיכערקייַט פּריקאָשאַנז און זיין געראטן דורך אַ דעדאַקייטאַד מענטש.

ב) עס איז רעקאַמענדיד צו דיסאַסעמבאַל די שיפל און בלויז ריין די גראַפייט טייל בעשאַס רייניקונג, אַזוי אַז יעדער קאָנטאַקט טייל קענען זיין קלינד מער ונ דורך. דערווייַל, פילע דינער מאַניאַפאַקטשערערז נוצן קוילעלדיק רייניקונג, וואָס איז באַקוועם, אָבער ווייַל HF זויער איז קעראָוסיוו צו סעראַמיק טיילן, קוילעלדיק רייניקונג וועט פאַרקירצן די דינסט לעבן פון די קאָראַספּאַנדינג טיילן.