Suscetpor được phủ SiC là thành phần chính được sử dụng trong các quy trình sản xuất chất bán dẫn khác nhau.Chúng tôi sử dụng công nghệ đã được cấp bằng sáng chế của mình để tạo ra suscetpor được phủ SiC với độ tinh khiết cực cao, độ đồng đều lớp phủ tốt và tuổi thọ tuyệt vời cũng như khả năng kháng hóa chất cao và tính ổn định nhiệt.
Các tính năng của sản phẩm của chúng tôi:
1. Khả năng chống oxy hóa ở nhiệt độ cao lên tới 1700oC.
2. Độ tinh khiết cao và độ đồng đều nhiệt
3. Khả năng chống ăn mòn tuyệt vời: thuốc thử axit, kiềm, muối và hữu cơ.
4. Độ cứng cao, bề mặt nhỏ gọn, hạt mịn.
5. Tuổi thọ dài hơn và bền hơn
| CVD SiC薄膜基本物理性能 Tính chất vật lý cơ bản của CVD SiClớp áo | |
| 性质 / Tài sản | 典型数值 / Giá trị điển hình |
| 晶体结构 / Cấu trúc tinh thể | Giai đoạn FCC多晶, 主要为（111)取向 |
| 密度 / Tỉ trọng | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Độ cứng | 2500 维氏硬度(tải 500g) |
| 晶粒大小 / Kích thước hạt | 2 ~ 10μm |
| 纯度 / Độ tinh khiết hóa học | 99,99995% |
| 热容 / Nhiệt dung | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Nhiệt độ thăng hoa | 2700oC |
| 抗弯强度 / Độ bền uốn | 415 MPa RT 4 điểm |
| 杨氏模量 / Mô đun của Young | Uốn cong 430 Gpa 4pt, 1300oC |
| 导热系数 / NhiệttôiĐộ dẫn nhiệt | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Giãn nở nhiệt(CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Nhiệt liệt chào mừng bạn đến thăm nhà máy của chúng tôi, chúng ta hãy thảo luận thêm!
