Khi nó tinh dịch đếntin tức kinh doanh, hiểu được sự phức tạp của việc chế tạo chất bán dẫn là cần thiết. Tấm bán dẫn là thành phần quan trọng trong ngành này, nhưng chúng thường phải đối mặt với sự ô nhiễm từ các loại tạp chất. Những chất gây ô nhiễm này, bao gồm nguyên tử, chất hữu cơ, ion nguyên tố kim loại và oxit, có thể ảnh hưởng đến quy trình chế tạo.
hạtchẳng hạn như polyme và tạp chất ăn mòn tin cậy vào lực liên phân tử để hấp phụ trên bề mặt của tấm bán dẫn, ảnh hưởng đến quá trình quang khắc của thiết bị.tạp chất hữu cơGiống như dầu da đồng loại và dầu máy tạo thành màng trên tấm bán dẫn, cản trở việc làm sạch.ion nguyên tố kim loạinhư sắt và nhôm thường bị loại bỏ thông qua sự hình thành phức ion nguyên tố kim loại.Oxitcản trở quá trình chế tạo và thường được loại bỏ bằng cách ngâm trong axit flohydric loãng.
phương pháp hóa họcthường được sử dụng để làm sạch và giật tấm bán dẫn. kỹ thuật làm sạch bằng hóa chất ẩm như ngâm dung dịch và chà cơ học đang thịnh hành. Phương pháp làm sạch siêu âm và siêu âm cung cấp những cách hiệu quả để loại bỏ tạp chất. làm sạch bằng hóa chất khô, bao gồm công nghệ pha khí và plasma, cũng đóng một vai trò trong quy trình làm sạch tấm bán dẫn.
Thời gian đăng: 29/10/2024