Như được trình bày ở trên, là một điển hình
Nửa đầu:
Bộ phận làm nóng (cuộn dây đốt nóng): nằm xung quanh ống lò, thường làm bằng dây điện trở, dùng để đốt nóng bên trong ống lò.
Ống thạch anh: Lõi của lò oxy hóa nóng, được làm bằng thạch anh có độ tinh khiết cao, có thể chịu được nhiệt độ cao và vẫn trơ về mặt hóa học.
Gas Feed: Nằm ở phía trên hoặc bên cạnh ống lò, dùng để vận chuyển oxy hoặc các loại khí khác vào bên trong ống lò.
Mặt bích SS: bộ phận kết nối ống thạch anh và đường dẫn khí, đảm bảo độ kín và ổn định của kết nối.
Đường cấp khí: Ống nối MFC với cổng cấp khí để truyền khí.
MFC (Bộ điều khiển lưu lượng khối): Một thiết bị điều khiển dòng khí bên trong ống thạch anh để điều chỉnh chính xác lượng khí cần thiết.
Lỗ thông hơi: Dùng để thoát khí thải từ bên trong ống lò ra bên ngoài thiết bị.
Phần dưới
Tấm silicon trong Giá đỡ: Tấm silicon được đặt trong Giá đỡ đặc biệt để đảm bảo nhiệt đồng đều trong quá trình oxy hóa.
Giá đỡ wafer: Được sử dụng để giữ wafer silicon và đảm bảo rằng wafer silicon vẫn ổn định trong suốt quá trình.
Bệ: Cấu trúc chứa Giá đỡ wafer silicon, thường được làm bằng vật liệu chịu nhiệt độ cao.
Thang máy: Được sử dụng để nâng các giá đỡ wafer vào và ra khỏi ống thạch anh để tự động tải và dỡ các tấm silicon.
Robot chuyển wafer: nằm ở bên cạnh thiết bị ống lò, nó dùng để tự động lấy wafer silicon ra khỏi hộp và đặt vào ống lò, hoặc lấy ra sau khi xử lý.
Băng chuyền lưu trữ băng cassette: Băng chuyền lưu trữ băng cassette được sử dụng để lưu trữ một hộp chứa các tấm silicon và có thể xoay để robot truy cập.
Wafer Cassette: Cassette wafer được sử dụng để lưu trữ và chuyển các tấm wafer silicon cần xử lý.
Thời gian đăng: 22-04-2024