Như được trình bày ở trên, là một điển hình
Nửa đầu:
▪ Bộ phận làm nóng (cuộn dây đốt nóng):
nằm xung quanh ống lò, thường làm bằng dây điện trở, dùng để đốt nóng bên trong ống lò.
▪ Ống thạch anh:
Lõi của lò oxy hóa nóng, được làm bằng thạch anh có độ tinh khiết cao, có thể chịu được nhiệt độ cao và vẫn trơ về mặt hóa học.
▪ Nguồn cấp khí:
Nằm ở phía trên hoặc bên cạnh ống lò, nó có tác dụng vận chuyển oxy hoặc các loại khí khác vào bên trong ống lò.
▪ Mặt bích SS:
các bộ phận kết nối ống thạch anh và đường dẫn khí, đảm bảo độ kín và ổn định của kết nối.
▪ Đường dây cấp khí:
Ống nối MFC với cổng cấp khí để truyền khí.
▪ MFC (Bộ điều khiển lưu lượng lớn):
Một thiết bị kiểm soát dòng khí bên trong ống thạch anh để điều chỉnh chính xác lượng khí cần thiết.
▪ Thông hơi:
Dùng để thoát khí thải từ bên trong ống lò ra bên ngoài thiết bị.
Phần dưới:
▪ Tấm silicon trong giá đỡ:
Tấm silicon được đặt trong một Giá đỡ đặc biệt để đảm bảo nhiệt đồng đều trong quá trình oxy hóa.
▪ Người giữ tấm wafer:
Được sử dụng để giữ tấm wafer silicon và đảm bảo rằng tấm wafer silicon vẫn ổn định trong suốt quá trình.
▪ Bệ:
Một cấu trúc chứa Giá đỡ tấm bán dẫn silicon, thường được làm bằng vật liệu chịu nhiệt độ cao.
▪ Thang máy:
Được sử dụng để nâng các giá đỡ wafer vào và ra khỏi ống thạch anh để tự động tải và dỡ các tấm silicon.
▪ Robot chuyển wafer:
nằm ở bên cạnh thiết bị ống lò, nó dùng để tự động lấy wafer silicon ra khỏi hộp và đặt vào ống lò hoặc lấy ra sau khi xử lý.
▪ Băng chuyền lưu trữ băng cassette:
Băng chuyền lưu trữ băng cassette được sử dụng để lưu trữ một hộp chứa các tấm silicon và có thể xoay để robot truy cập.
▪ Hộp bánh xốp:
băng cassette được sử dụng để lưu trữ và chuyển các tấm silicon cần xử lý.
Thời gian đăng: 22-04-2024