Lắng đọng hơi hóa học (CVD) là công nghệ được sử dụng rộng rãi nhất trong ngành bán dẫn để lắng đọng nhiều loại vật liệu, bao gồm nhiều loại vật liệu cách điện, hầu hết các vật liệu kim loại và vật liệu hợp kim kim loại. CVD là công nghệ chuẩn bị màng mỏng truyền thống. Nguyên tắc của nó...
Đọc thêm