Графітовий лоток для нанесення PECVD

Завантажувальний лоток PECVD Осадження графітового лотка Представлене зображення

Короткий опис:

Завантажувальний лоток PECVD від VET Energy розроблено для забезпечення надійної та рівномірної підтримки пластин під час осадження, покращуючи послідовність і якість процесу осадження. Завдяки чудовій термостійкості графітовий лоток допомагає підтримувати контрольоване середовище всередині камер PECVD, знижуючи ризик забруднення та забезпечуючи високу ефективність процесу.

Надішліть нам електронний лист Завантажити як PDF

Деталі продукту

Теги товарів

VET Energy Завантажувальний лоток PECVD — це прецизійний носій, розроблений для процесу PECVD (плазмове хімічне осадження з парової фази). Цей високоякісний лоток для нанесення графіту виготовлено з високочистого графітового матеріалу високої щільності. Він має чудову стійкість до високих температур, стійкість до корозії, стабільність розмірів та інші характеристики. Він може забезпечити стабільну несучу платформу для процесу PECVD і забезпечити однорідність і рівність осадження плівки.

Завантажувальні лотки VET Energy PECVD широко використовуються в напівпровідниковій, фотоелектричній, світлодіодній та інших областях. Наприклад:

▪ Напівпровідник: процес PECVD для напівпровідникових матеріалів, таких як кремнієві пластини та епітаксійні пластини.

▪ Фотоелектричні: процес PECVD для тонких плівок сонячних елементів.

▪ LED: процес PECVD для світлодіодних мікросхем.

Переваги продукту

▪Покращення якості фільму:Забезпечте рівномірне нанесення плівки та покращте її якість.

▪Подовження терміну служби обладнання:Чудова стійкість до корозії, продовжує термін служби обладнання PECVD.

▪Знизити витрати на виробництво:Високоякісні графітові лотки можуть зменшити кількість брухту та знизити витрати на виробництво.

Графітовий матеріал від SGL:

Типовий параметр: R6510
Індекс	Тестовий стандарт	Значення	одиниця
Середній розмір зерна	ISO 13320	10	мкм
Насипна щільність	DIN IEC 60413/204	1.83	г/см³
Відкрита пористість	DIN66133	10	%
Середній розмір пор	DIN66133	1.8	мкм
Проникність	DIN 51935	0,06	см²/с
Твердість по Роквеллу HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Питомий електричний опір	DIN IEC 60413/402	13	мкОм
Міцність на вигин	DIN IEC 60413/501	60	МПа
Міцність на стиск	DIN 51910	130	МПа
Модуль Юнга	DIN 51915	11,5×10³	МПа
Теплове розширення (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Теплопровідність (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Він спеціально розроблений для високоефективного виробництва сонячних елементів і підтримує обробку пластин великого розміру G12. Оптимізована конструкція носія значно збільшує пропускну спроможність, забезпечуючи вищі показники врожайності та нижчі виробничі витрати.

Пункт	Тип	Номерний вафельний носій
Човен PEVCD Grephite - серія 156	156-13 Грефітовий човен	144
	156-19 грефітовий човен	216
	156-21 Грефітовий човен	240
	156-23 графітовий човен	308
Човен PEVCD Grephite - серія 125	125-15 грефітовий човен	196
	125-19 грефітовий човен	252
	125-21 грфітовий човен	280