Підтримка графітової пластини PECVD

Короткий опис:

Графітова опора для пластин VET Energy, розроблена для забезпечення точності та продуктивності, є ідеальним матеріалом для використання в передовій обробці пластин, де критично важливі висока термічна стабільність і постійна продуктивність. Незалежно від того, чи працюєте ви з напівпровідниковими пластинами чи іншими делікатними підкладками, ця високоякісна графітова підкладка підвищить надійність процесу та якість продукції, що робить її незамінним компонентом сучасного виробництва.

Надішліть нам електронний лист Завантажити як PDF

Деталі продукту

Теги товарів

Графітова підкладка для процесу PECVD VET Energy є основним витратним матеріалом, розробленим для процесу PECVD (плазмове хімічне осадження з парової фази). Цей продукт виготовлено з високочистого графітового матеріалу високої щільності, має чудову стійкість до високих температур, стійкість до корозії, стабільність розмірів та інші характеристики, може забезпечити стабільну опорну платформу для процесу PECVD, щоб забезпечити рівномірність і рівність осадження плівки.

Конструкція «графітової опори» графітової опори VET Energy може не тільки ефективно підтримувати пластину, але й забезпечувати термічну стабільність у середовищі високої температури та високого тиску PECVD для забезпечення стабільності процесу.

Графітова пластина VET Energy PECVD має такі характеристики:

▪Висока чистота:надзвичайно низький вміст домішок, щоб уникнути забруднення плівки, щоб забезпечити якість плівки.

▪Висока щільність:висока щільність, висока механічна міцність, може витримувати високу температуру та високий тиск середовища PECVD.

▪Хороша стабільність розмірів:невеликі зміни розмірів при високій температурі для забезпечення стабільності процесу.

▪Відмінна теплопровідність:ефективно передають тепло, щоб запобігти перегріву пластин.

▪Сильна стійкість до корозії:Здатний протистояти ерозії різними корозійними газами та плазмою.

▪Індивідуальний сервіс:Графітові опорні столи різних розмірів і форм можна налаштувати відповідно до потреб клієнта.

Графітовий матеріал від SGL:

Типовий параметр: R6510
Індекс	Тестовий стандарт	Значення	одиниця
Середній розмір зерна	ISO 13320	10	мкм
Насипна щільність	DIN IEC 60413/204	1.83	г/см³
Відкрита пористість	DIN66133	10	%
Середній розмір пор	DIN66133	1.8	мкм
Проникність	DIN 51935	0,06	см²/с
Твердість по Роквеллу HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Питомий електричний опір	DIN IEC 60413/402	13	мкОм
Міцність на вигин	DIN IEC 60413/501	60	МПа
Міцність на стиск	DIN 51910	130	МПа
Модуль Юнга	DIN 51915	11,5×10³	МПа
Теплове розширення (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Теплопровідність (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Він спеціально розроблений для високоефективного виробництва сонячних елементів і підтримує обробку пластин великого розміру G12. Оптимізована конструкція носія значно збільшує пропускну спроможність, забезпечуючи вищі показники врожайності та нижчі виробничі витрати.

Пункт	Тип	Номерний вафельний носій
Човен PEVCD Grephite - серія 156	156-13 Грефітовий човен	144
	156-19 грефітовий човен	216
	156-21 Грефітовий човен	240
	156-23 графітовий човен	308
Човен PEVCD Grephite - серія 125	125-15 грефітовий човен	196
	125-19 грефітовий човен	252
	125-21 грфітовий човен	280