Тримач пластин із графітовою підкладкою для PECVD

Короткий опис:

Графітовий тримач підкладки від VET Energy розроблений для підтримки вирівнювання та стабільності пластин протягом усього процесу PECVD, запобігаючи забрудненню та мінімізуючи ризик пошкодження. Графітовий тримач пластин забезпечує надійну рівну платформу, гарантуючи, що пластини рівномірно піддаються впливу плазми для послідовного та високоякісного осадження. Завдяки високій теплопровідності та винятковій міцності цей тримач допомагає підвищити загальну ефективність процесу та продуктивність продукту.

Надішліть нам електронний лист Завантажити як PDF

Деталі продукту

Теги товарів

VET Energy Graphite Substrate Wafer Holder — це прецизійний носій, розроблений для процесу PECVD (плазмове хімічне осадження з парової фази). Цей високоякісний тримач графітової підкладки виготовлено з графітового матеріалу високої чистоти високої щільності з чудовою стійкістю до високих температур, стійкістю до корозії, стабільністю розмірів та іншими характеристиками. Він може забезпечити стабільну опорну платформу для процесу PECVD і забезпечити однорідність і рівність осадження плівки.

VET Energy PECVD технологічний графітовий опорний стіл має такі характеристики:

▪Висока чистота:надзвичайно низький вміст домішок, уникнення забруднення плівки, забезпечення якості плівки.

▪Висока щільність:висока щільність, висока механічна міцність, може витримувати високу температуру та високий тиск середовища PECVD.

▪Хороша стабільність розмірів:невелика зміна розмірів при високій температурі, що забезпечує стабільність процесу.

▪Відмінна теплопровідність:ефективно передають тепло, щоб запобігти перегріву пластин.

▪Сильна стійкість до корозії:може протистояти ерозії різними корозійними газами та плазмою.

▪Індивідуальний сервіс:графітові опорні столи різних розмірів і форм можна налаштувати відповідно до потреб клієнта.

Переваги продукту

▪Покращення якості фільму:Забезпечте рівномірне нанесення плівки та покращте її якість.

▪Подовження терміну служби обладнання:Чудова стійкість до корозії, продовжує термін служби обладнання PECVD.

▪Знизити витрати на виробництво:Високоякісні графітові лотки можуть зменшити кількість брухту та знизити витрати на виробництво.

Графітовий матеріал від SGL:

Типовий параметр: R6510
Індекс	Тестовий стандарт	Значення	одиниця
Середній розмір зерна	ISO 13320	10	мкм
Насипна щільність	DIN IEC 60413/204	1.83	г/см³
Відкрита пористість	DIN66133	10	%
Середній розмір пор	DIN66133	1.8	мкм
Проникність	DIN 51935	0,06	см²/с
Твердість по Роквеллу HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Питомий електричний опір	DIN IEC 60413/402	13	мкОм
Міцність на вигин	DIN IEC 60413/501	60	МПа
Міцність на стиск	DIN 51910	130	МПа
Модуль Юнга	DIN 51915	11,5×10³	МПа
Теплове розширення (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Теплопровідність (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Він спеціально розроблений для високоефективного виробництва сонячних елементів і підтримує обробку пластин великого розміру G12. Оптимізована конструкція носія значно збільшує пропускну спроможність, забезпечуючи вищі показники врожайності та нижчі виробничі витрати.

Пункт	Тип	Номерний вафельний носій
Човен PEVCD Grephite - серія 156	156-13 Грефітовий човен	144
	156-19 грефітовий човен	216
	156-21 Грефітовий човен	240
	156-23 графітовий човен	308
Човен PEVCD Grephite - серія 125	125-15 грефітовий човен	196
	125-19 грефітовий човен	252
	125-21 грфітовий човен	280