Графітова пластина для осадження

Графітовий вафельний човен для осадження Представлене зображення

Короткий опис:

Графітова пластина VET Energy — це високоякісний витратний матеріал, призначений для процесів осадження в напівпровідниковій, фотоелектричній та інших галузях промисловості. Виготовлений із високочистого графітового матеріалу високої щільності, цей продукт має чудову стійкість до високих температур, стійкість до корозії, стабільність розмірів та інші характеристики, а також може забезпечити стабільну несучу платформу для процесу осадження, щоб забезпечити рівномірність і рівність осадження тонкої плівки. .

Надішліть нам електронний лист Завантажити як PDF

Деталі продукту

Теги товарів

Графітовий човен PECVD від VET Energy виготовлений із ізостатичного графіту високої чистоти з пористістю нижче 15% і шорсткістю поверхні Ra≤1,6 мкм. Чудова стабільність розмірів і теплопровідність забезпечують рівномірне осадження плівки та підвищену ефективність клітин.

Графітовий матеріал від SGL:

Типовий параметр: R6510
Індекс	Тестовий стандарт	Значення	одиниця
Середній розмір зерна	ISO 13320	10	мкм
Насипна щільність	DIN IEC 60413/204	1.83	г/см³
Відкрита пористість	DIN66133	10	%
Середній розмір пор	DIN66133	1.8	мкм
Проникність	DIN 51935	0,06	см²/с
Твердість по Роквеллу HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Питомий електричний опір	DIN IEC 60413/402	13	мкОм
Міцність на вигин	DIN IEC 60413/501	60	МПа
Міцність на стиск	DIN 51910	130	МПа
Модуль Юнга	DIN 51915	11,5×10³	МПа
Теплове розширення (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Теплопровідність (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Він спеціально розроблений для високоефективного виробництва сонячних елементів і підтримує обробку пластин великого розміру G12. Оптимізована конструкція носія значно збільшує пропускну спроможність, забезпечуючи вищі показники врожайності та нижчі виробничі витрати.

Пункт	Тип	Номерний вафельний носій
Човен PEVCD Grephite - серія 156	156-13 Грефітовий човен	144
	156-19 грефітовий човен	216
	156-21 Грефітовий човен	240
	156-23 графітовий човен	308
Човен PEVCD Grephite - серія 125	125-15 грефітовий човен	196
	125-19 грефітовий човен	252
	125-21 грфітовий човен	280