I. Дослідження параметрів процесу 1. Система TaCl5-C3H6-H2-Ar 2. Температура осадження: згідно з термодинамічною формулою розраховано, що коли температура перевищує 1273 К, вільна енергія Гіббса реакції є дуже низькою, а реакція відносно завершена. Реа...
Читати далі