Графітовий носій для процесу PECVD

Короткий опис:

ПТО ЕнергіяPECVD Graphite Boat for Solar Panel — це передовий компонент, розроблений спеціально для виробництва високоефективних сонячних панелей. Цей графітовий човен, який використовується в процесах плазмового хімічного осадження з парової фази (PECVD), забезпечує оптимальну обробку матеріалів і рівномірне осадження тонких плівок на сонячних елементах. Створений для точності та довговічності, він забезпечує чудову теплопровідність, високу стійкість до корозії та мінімальне забруднення, що є важливим для виробництва ефективних високоякісних сонячних панелей.

Надішліть нам електронний лист Завантажити як PDF

Деталі продукту

Теги товарів

ПТО ЕнергіяГрафітовий носій для процесу PECVD — це високоякісний витратний матеріал, призначений для процесу PECVD (плазмове хімічне осадження з парової фази). Цей графітовий носій виготовлений із графітового матеріалу високої чистоти високої щільності, має чудову стійкість до високих температур, стійкість до корозії, стабільність розмірів та інші характеристики, може забезпечити стабільну платформу-носій для процесу PECVD, щоб забезпечити однорідність і площинність тонкої плівки. відкладення.

Графітові носії для процесу PECVD мають такі характеристики:

▪ Висока чистота: надзвичайно низький вміст домішок, що запобігає забрудненню плівки та забезпечує якість плівки.

▪ Висока щільність: висока щільність, висока механічна міцність, здатність витримувати високу температуру та високий тиск середовища PECVD.

▪ Хороша стабільність розмірів: невелика зміна розмірів при високій температурі, що забезпечує стабільність процесу.

▪ Чудова теплопровідність: ефективно передає тепло, щоб запобігти перегріву пластин.

▪ Сильна стійкість до корозії: здатна протистояти ерозії різними корозійними газами та плазмою.

▪ Індивідуальне обслуговування: графітові носії різних розмірів і форм можна налаштувати відповідно до потреб клієнта.

Графітовий матеріал від SGL:

Типовий параметр: R6510
Індекс	Тестовий стандарт	Значення	одиниця
Середній розмір зерна	ISO 13320	10	мкм
Насипна щільність	DIN IEC 60413/204	1.83	г/см³
Відкрита пористість	DIN66133	10	%
Середній розмір пор	DIN66133	1.8	мкм
Проникність	DIN 51935	0,06	см²/с
Твердість по Роквеллу HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Питомий електричний опір	DIN IEC 60413/402	13	мкОм
Міцність на вигин	DIN IEC 60413/501	60	МПа
Міцність на стиск	DIN 51910	130	МПа
Модуль Юнга	DIN 51915	11,5×10³	МПа
Теплове розширення (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Теплопровідність (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Він спеціально розроблений для високоефективного виробництва сонячних елементів і підтримує обробку пластин великого розміру G12. Оптимізована конструкція носія значно збільшує пропускну спроможність, забезпечуючи вищі показники врожайності та нижчі виробничі витрати.

Пункт	Тип	Номерний вафельний носій
Човен PEVCD Grephite - серія 156	156-13 Грефітовий човен	144
	156-19 грефітовий човен	216
	156-21 Грефітовий човен	240
	156-23 графітовий човен	308
Човен PEVCD Grephite - серія 125	125-15 грефітовий човен	196
	125-19 грефітовий човен	252
	125-21 грфітовий човен	280