12-дюймова пластина SOI VET Energy — це високоефективний напівпровідниковий матеріал підкладки, який користується великою популярністю завдяки чудовим електричним властивостям і унікальній структурі. VET Energy використовує передові процеси виробництва пластин SOI, щоб гарантувати, що пластина має надзвичайно низький струм витоку, високу швидкість і стійкість до випромінювання, забезпечуючи міцну основу для ваших високопродуктивних інтегральних схем.
Продуктова лінійка VET Energy не обмежується пластинами SOI. Ми також надаємо широкий спектр напівпровідникових матеріалів для підкладки, включаючи Si Wafer, SiC Substrate, SiN Substrate, Epi Wafer тощо, а також нові широкозонні напівпровідникові матеріали, такі як оксид галію Ga2O3 і AlN Wafer. Ці продукти можуть задовольнити потреби різних клієнтів у силовій електроніці, радіочастотах, датчиках та інших галузях.
Орієнтуючись на досконалість, наші пластини SOI також використовують передові матеріали, такі як оксид галію Ga2O3, касети та пластини AlN, щоб забезпечити надійність і ефективність на кожному робочому рівні. Довіртеся VET Energy, щоб надати передові рішення, які прокладають шлях до технологічного прогресу.
Розкрийте потенціал свого проекту з чудовою продуктивністю 12-дюймових SOI пластин VET Energy. Розширюйте свої інноваційні можливості за допомогою пластин, які втілюють якість, точність та інновації, закладаючи основу для успіху в динамічній галузі напівпровідникових технологій. Виберіть VET Energy, щоб отримати першокласні рішення для пластин SOI, які перевершують очікування.
ТЕХНІЧНІ ХАРАКТЕРИСТИКИ ВАФЕЛЬ
*n-Pm=n-тип Pm-клас, n-Ps=n-тип Ps-клас, Sl=напівізоляційний
Пункт | 8-дюймовий | 6-дюймовий | 4-дюймовий | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
TTV (GBIR) | ≤6 мкм | ≤6 мкм | |||
Лук (GF3YFCD) - абсолютне значення | ≤15 мкм | ≤15 мкм | ≤25 мкм | ≤15 мкм | |
Деформація (GF3YFER) | ≤25 мкм | ≤25 мкм | ≤40 мкм | ≤25 мкм | |
LTV(SBIR)-10ммх10мм | <2 мкм | ||||
Вафельний край | Скошування |
ОБРОБКА ПОВЕРХНІ
*n-Pm=n-тип Pm-клас, n-Ps=n-тип Ps-клас, Sl=напівізоляційний
Пункт | 8-дюймовий | 6-дюймовий | 4-дюймовий | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
Оздоблення поверхні | Двостороння оптична полірування, Si-Face CMP | ||||
Шорсткість поверхні | (10 мкм x 10 мкм) Si-FaceRa≤0,2 нм | (5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm | |||
Крайові чіпи | Не допускається (довжина та ширина≥0,5 мм) | ||||
Відступи | Не дозволено | ||||
Подряпини (Si-Face) | К-сть ≤5, Сукупний | К-сть ≤5, Сукупний | К-сть ≤5, Сукупний | ||
Тріщини | Не дозволено | ||||
Виключення краю | 3 мм |