Кремний Карбид Ваферы белән идарә итү

Кремний карбид ваферы белән тотрыклы чыдамлы үзенчәлекле рәсем

Кыска тасвирлау:

вет-кытай искиткеч чыдам кремний карбид вафер эшкәртү паддеры белән тәэмин итә, ул эффектив һәм куркынычсыз эшкәртүне тәэмин итү өчен югары җитештерүчәнлекне һәм инновацион дизайнны берләштерә. Аның ныклыгы һәм төгәллеге белән, ветеринар-кремний кремний углерод вафины эшкәртү ярымүткәргеч җитештерү процессында алыштыргысыз корал, җитештерү нәтиҗәлелеген күтәрү һәм чүп-чар куркынычын киметү.

Безгә электрон почта җибәрегез PDF итеп йөкләү

Продукциянең детальләре

Продукция тэглары

вет-кытай һәр чыдамлылыкны тәэмин итәКремний Карбид Ваферы белән идарә итүискиткеч җитештерүчәнлеккә һәм ныклыкка ия. Бу кремний карбид вафер эшкәртү паддеры аның структур тотрыклылыгы һәм функциональлеге югары температурада һәм химик коррозия шартларында калсын өчен алдынгы җитештерү процессларын куллана. Бу инновацион дизайн ярымүткәргеч вафер эшкәртү өчен аеруча югары төгәл автоматлаштырылган операцияләр өчен искиткеч ярдәм күрсәтә.

SiC Cantilever PaddleОксидлаштыру миче, диффузия миче, анналь мич кебек ярымүткәргеч җитештерү җиһазларында кулланылган махсус компонент, төп куллану ваферны йөкләү һәм бушату, югары температуралы процессларда ваферларга булышу һәм ташу.

Гомуми структураларofSiCcантиливерpөстәмә: кантильвер структурасы, бер очында тоташтырылган, икенчесендә буш, гадәттә яссы һәм калак сыман дизайнга ия.

ЭшләүpпринципofSiCcантиливерpөстәмә:

Кантильвер паддеры мич камерасы эчендә өскә-аска яки артка-артка хәрәкәт итә ала, ваферларны йөкләү өлкәләреннән эшкәртү өлкәләренә яки эшкәртү өлкәләренә күчерү өчен, югары температурада эшкәртү вакытында ваферларга булышу һәм тотрыклыландыру өчен кулланыла ала.

Кремний карбидының рестральләштерелгән физик үзлекләре
Милек	Типик кыйммәт
Эш температурасы (° C)	1600 ° C (кислород белән), 1700 ° C (әйләнә-тирә мохитне киметү)
SiC эчтәлеге	> 99,96%
Бушлай Si эчтәлеге	<0,1%
Күпчелек тыгызлык	2.60-2,70 г / см³
Күренекле күзәнәк	<16%
Кысу көче	> 600 MPa
Салкын бөкләү көче	80-90 MPa (20 ° C)
Кайнар бөкләү көче	90-100 MPa (1400 ° C)
00ылылык киңәюе @ 1500 ° C.	4.70 10^-6/ ° C.
Rылылык үткәрүчәнлеге @ 1200 ° C.	23 Вт / м • К.
Эластик модуль	240 GPa
Rылылык шокына каршы тору	Бик яхшы