Алга киткәнSiC Cantilever PaddleВетеринар эшкәртү өчен ветеринар эшкәртү ярымүткәргеч җитештерү өчен искиткеч чишелеш бирә. Бу кантильвер калкулыгы SiC (кремний карбид) материалыннан эшләнгән, һәм аның каты булуы һәм җылылыкка чыдамлыгы аңа югары температурада һәм коррозив мохиттә яхшы эшне сакларга мөмкинлек бирә. Cantilever Paddle дизайны ваферны эшкәртү вакытында ышанычлы булышырга мөмкинлек бирә, фрагментлашу һәм зыян китерү куркынычын киметә.
SiC Cantilever PaddleОксидлаштыру миче, диффузия миче, анналь мич кебек ярымүткәргеч җитештерү җиһазларында кулланылган махсус компонент, төп куллану ваферны йөкләү һәм бушату, югары температуралы процессларда ваферларга булышу һәм ташу.
Гомуми структураларofSiCcантиливерpөстәмә: кантильвер структурасы, бер очында тоташтырылган, икенчесендә буш, гадәттә яссы һәм калак охшаган дизайнга ия.
VET Энергия сыйфатын гарантияләү өчен югары чисталык кремний карбид материалларын куллана.
| Кремний карбидының рестральләштерелгән физик үзлекләре | |
| Милек | Типик кыйммәт |
| Эш температурасы (° C) | 1600 ° C (кислород белән), 1700 ° C (әйләнә-тирә мохитне киметү) |
| SiC эчтәлеге | > 99,96% |
| Бушлай Si эчтәлеге | <0,1% |
| Күпчелек тыгызлык | 2.60-2,70 г / см3 |
| Күренекле күзәнәк | <16% |
| Кысу көче | > 600MPa |
| Салкын бөкләү көче | 80-90 MPa (20 ° C) |
| Кайнар бөкләү көче | 90-100 MPa (1400 ° C) |
| 00ылылык киңәюе @ 1500 ° C. | 4.70 10-6/ ° C. |
| Rылылык үткәрүчәнлеге @ 1200 ° C. | 23Вт / м • К. |
| Эластик модуль | 240 GPa |
| Rылылык шокына каршы тору | Бик яхшы |
Вафер эшкәртү өчен VET Energy's Advanced SiC Cantilever Paddle өстенлекләре:
- temperatureгары температураның тотрыклылыгы: 1600 ° C-тан югары шартларда кулланырга мөмкин;
-Термаль киңәйтү коэффициенты: үлчәмле тотрыклылыкны саклый, вафат риск куркынычын киметә;
- purгары чисталык: металл пычрану куркынычы түбән;
-Химик инерция: коррозиягә чыдам, төрле газ мохите өчен яраклы;
- strengthгары көч һәм катылык: Киемгә чыдам, озак хезмәт итү;
- Яхшы җылылык үткәрүчәнлеге: бердәм вафат җылытуда булыша.
