кремний карбид керамик каплау җылыткыч

Вет-КитайКремний карбид керамикасыКатлам - бик каты һәм киемгә чыдам, югары җитештерүчән саклагыч каплаукремний карбид (SiC)искиткеч химик коррозиягә каршы торуны һәм югары температураның тотрыклылыгын тәэмин итүче материал. Бу үзенчәлекләр ярымүткәргеч җитештерүдә бик мөһимКремний карбид керамик каплауярымүткәргеч җитештерү җиһазларының төп компонентларында киң кулланыла.

Вет-Китайның конкрет ролеКремний карбид керамикасыЯрымүткәргеч җитештерүдә каплау түбәндәгечә:

Equipmentиһазларның ныклыгын арттыру:Кремний Карбид керамик каплау Кремний Карбид керамик каплау ярымүткәргеч җитештерү җиһазлары өчен бик югары каты һәм кием каршылыгы белән искиткеч өслекне саклый. Бигрәк тә югары температуралы һәм бик коррозицион процесс шартларында, мәсәлән, химик пар парламенты (CVD) һәм плазма эфиры, каплау җиһаз өслеген химик эрозия яки физик кием аркасында зарарлы итеп саклый, шуның белән хезмәт срогын сизелерлек озайта. еш алмаштыру һәм ремонтлау аркасында җиһазлар һәм эш вакытын киметү.

Процесс чисталыгын яхшырту:Ярымүткәргеч җитештерү процессында кечкенә пычрану продукт җитешсезлекләренә китерергә мөмкин. Кремний карбид керамик капламының химик инерциясе аңа экстремаль шартларда тотрыклы булырга мөмкинлек бирә, материал кисәкчәләр яки пычраклар чыгаруга комачаулый, шуның белән процессның экологик чисталыгын тәэмин итә. Бу PECVD һәм ион имплантациясе кебек югары төгәллек һәм югары чисталык таләп итә торган адымнар ясау өчен аеруча мөһим.

Rылылык белән идарә итүне оптимальләштерү:Тиз җылылык эшкәртү (РТП) һәм оксидлаштыру процесслары кебек югары температуралы ярымүткәргеч эшкәртүдә, Кремний Карбид керамик капламының югары җылылык үткәрүчәнлеге җиһаз эчендә бердәм температураны таратырга мөмкинлек бирә. Бу җылылык стрессын һәм температураның үзгәрүеннән килеп чыккан матди деформацияне киметергә ярдәм итә, шуның белән продукт җитештерүнең төгәллеген һәм эзлеклелеген яхшырта.

Катлаулы процесс мохитенә булышу:ICP эфирлау һәм PSS эфирлау кебек катлаулы атмосфера контролен таләп итә торган процессларда, Кремний Карбид керамик капламының тотрыклылыгы һәм оксидлашу каршылыгы җиһазның озак вакыт эшләвендә тотрыклы эшләвен тәэмин итә, материаль деградация яки җиһазның бозылу куркынычын киметә. экологик үзгәрешләргә.