vet-china her Dayanıklının olmasını sağlarSilisyum Karbür Gofret Taşıma Küreğimükemmel performansa ve dayanıklılığa sahiptir. Bu silisyum karbür plaka taşıma küreği, yapısal stabilitesinin ve işlevselliğinin yüksek sıcaklık ve kimyasal korozyon ortamlarında kalmasını sağlamak için gelişmiş üretim süreçlerini kullanır. Bu yenilikçi tasarım, özellikle yüksek hassasiyetli otomatik işlemlerde, yarı iletken plakaların işlenmesi için mükemmel destek sağlar.
SiC Konsol KürekOksidasyon fırını, difüzyon fırını ve tavlama fırını gibi yarı iletken imalat ekipmanlarında kullanılan özel bir bileşendir; ana kullanım alanı, yüksek sıcaklık prosesleri sırasında levhaların yüklenmesi ve boşaltılması, levhaların desteklenmesi ve taşınmasıdır.
Ortak yapılarile ilgiliSiCcanti kaldıraçpEklemek: Bir ucu sabit, diğer ucu serbest olan konsol yapısı tipik olarak düz ve kürek benzeri bir tasarıma sahiptir.
Çalışmapprensipile ilgiliSiCcanti kaldıraçpEklemek:
Konsol kanadı, fırın odası içinde yukarı, aşağı veya ileri geri hareket edebilir; gofretleri yükleme alanlarından işleme alanlarına veya işleme alanlarının dışına taşımak, yüksek sıcaklıkta işleme sırasında gofretleri desteklemek ve stabilize etmek için kullanılabilir.
| Yeniden Kristalize Silisyum Karbürün fiziksel özellikleri | |
| Mülk | Tipik Değer |
| Çalışma sıcaklığı (°C) | 1600°C (oksijenli), 1700°C (indirgeyici ortam) |
| SiC içeriği | > %99,96 |
| Ücretsiz Si içeriği | < %0,1 |
| Yığın yoğunluğu | 2,60-2,70 gr/cm3 |
| Görünür gözeneklilik | < %16 |
| Sıkıştırma gücü | > 600MPa |
| Soğuk bükülme mukavemeti | 80-90 MPa (20°C) |
| Sıcak bükülme mukavemeti | 90-100 MPa (1400°C) |
| Termal genleşme @1500°C | 4,70 10-6/°C |
| Isı iletkenliği @1200°C | 23 W/m•K |
| Elastik modül | 240 GPa |
| Termal şok direnci | Son derece iyi |
