silisyum karbür seramik kaplama ısıtıcısı

Veteriner-ÇinSilisyum Karbür SeramikKaplama, son derece sert ve aşınmaya dayanıklı malzemeden yapılmış yüksek performanslı koruyucu bir kaplamadır.silisyum karbür (SiC)Mükemmel kimyasal korozyon direnci ve yüksek sıcaklık stabilitesi sağlayan malzeme. Bu özellikler yarı iletken üretiminde çok önemlidir, dolayısıylaSilisyum Karbür Seramik Kaplamayarı iletken imalat ekipmanlarının temel bileşenlerinde yaygın olarak kullanılmaktadır.

Vet-China'nın özel rolüSilisyum Karbür SeramikYarı iletken üretiminde kaplama şu şekildedir:

Ekipman dayanıklılığını artırın:Silisyum Karbür Seramik Kaplama Silisyum Karbür Seramik Kaplama, son derece yüksek sertliği ve aşınma direnciyle yarı iletken üretim ekipmanları için mükemmel yüzey koruması sağlar. Özellikle kimyasal buhar biriktirme (CVD) ve plazma aşındırma gibi yüksek sıcaklıktaki ve son derece aşındırıcı proses ortamlarında kaplama, ekipmanın yüzeyinin kimyasal erozyon veya fiziksel aşınma nedeniyle hasar görmesini etkili bir şekilde önleyebilir, böylece ekipmanın servis ömrünü önemli ölçüde uzatabilir. ekipmanın sık sık değiştirilmesi ve onarılmasından kaynaklanan arıza sürelerinin azaltılması.

Proses saflığını iyileştirin:Yarı iletken üretim sürecinde çok küçük kirlenmeler ürün kusurlarına neden olabilir. Silisyum Karbür Seramik Kaplamanın kimyasal inertliği, aşırı koşullar altında stabil kalmasına olanak tanır, malzemenin parçacık veya yabancı madde salmasını önleyerek sürecin çevresel saflığını sağlar. Bu, PECVD ve iyon implantasyonu gibi yüksek hassasiyet ve yüksek temizlik gerektiren üretim adımları için özellikle önemlidir.

Termal yönetimi optimize edin:Hızlı termal işlem (RTP) ve oksidasyon işlemleri gibi yüksek sıcaklıkta yarı iletken işlemlerde Silisyum Karbür Seramik Kaplamanın yüksek termal iletkenliği, ekipmanın içinde eşit sıcaklık dağılımı sağlar. Bu, sıcaklık dalgalanmalarının neden olduğu termal stresi ve malzeme deformasyonunu azaltmaya yardımcı olur, böylece ürün üretim doğruluğunu ve tutarlılığını artırır.

Karmaşık süreç ortamlarını destekleyin:ICP aşındırma ve PSS aşındırma işlemleri gibi karmaşık atmosfer kontrolü gerektiren işlemlerde, Silisyum Karbür Seramik Kaplamanın stabilitesi ve oksidasyon direnci, ekipmanın uzun süreli çalışmada istikrarlı bir performans sürdürmesini sağlayarak malzeme bozulması veya ekipmanın hasar görmesi riskini azaltır. çevresel değişikliklere.