1. Temizlemeden önce onay
1) Ne zamanPECVD grafit tekne/carrier 100 ila 150 defadan fazla kullanıldığında, operatörün kaplama durumunu zamanında kontrol etmesi gerekir. Anormal bir kaplama varsa temizlenip teyit edilmesi gerekir. Grafit tekne/taşıyıcıdaki silikon levhanın normal kaplama rengi mavidir. Eğer gofretin mavi değilse, birden fazla rengi varsa veya gofretler arasındaki renk farkı büyükse, bu anormal bir kaplamadır ve anormalliğin nedeninin zamanında doğrulanması gerekir.
2) İşlem sonrasında personel kaplamanın durumunu analiz eder.PECVD grafit tekne/taşıyıcı, grafit teknenin temizlenmesi gerekip gerekmediğini ve kart noktasının değiştirilmesi gerekip gerekmediğini belirleyecek ve temizlenmesi gereken grafit tekne/taşıyıcı, temizlik için ekipman personeline teslim edilecektir.
3) Sonragrafit tekne/taşıyıcı hasar görürse, üretim personeli grafit teknedeki tüm silikon levhaları çıkaracak ve CDA (basınçlı hava) kullanarak içindeki parçaları ayıracaktır.grafit tekne. Tamamlandıktan sonra ekipman personeli, temizlik için belirli oranda HF solüsyonu ile hazırlanmış asit tankına kaldıracaktır.
2. Grafit teknenin temizlenmesi
Her biri 4-5 saat olmak üzere üç tur temizlik için %15-25 hidroflorik asit solüsyonunun kullanılması ve ıslatma ve temizleme işlemi sırasında periyodik olarak nitrojen köpürtülmesi ve buna yaklaşık yarım saatlik temizlik eklenmesi önerilir; not: köpürtme için gaz kaynağı olarak doğrudan havanın kullanılması tavsiye edilmez. Temizleme işleminden sonra yaklaşık 10 saat boyunca saf suyla durulayın ve teknenin iyice temizlendiğinden emin olun. Temizledikten sonra lütfen teknenin yüzeyini, grafit kart noktasını, tekne sacının birleşim yerini ve diğer parçaları silikon nitrür kalıntısı olup olmadığını kontrol edin. Daha sonra gereksinimlere göre kurutun.
3. Temizlik önlemleri
A) HF asit oldukça aşındırıcı bir madde olduğundan ve belirli bir uçuculuğa sahip olduğundan operatörler için tehlikelidir. Bu nedenle temizlik noktasındaki operatörlerin güvenlik önlemleri alması ve bu konuda uzman bir kişi tarafından yönetilmesi gerekmektedir.
B) Her bir temas parçasının daha derinlemesine temizlenebilmesi için, temizlik esnasında teknenin sökülüp sadece grafit kısmının temizlenmesi tavsiye edilir. Şu anda birçok yerli üretici uygun olan genel temizliği kullanıyor ancak HF asit seramik parçalar için aşındırıcı olduğundan genel temizlik ilgili parçaların servis ömrünü kısaltacaktır.
Gönderim zamanı: 23 Aralık 2024