GelişmişSiC Konsol KürekVet-china tarafından oluşturulan Gofret İşleme için yarı iletken üretimi için mükemmel bir çözüm sunar. Bu konsol kürek SiC (silisyum karbür) malzemeden yapılmıştır ve yüksek sertliği ve ısı direnci, yüksek sıcaklık ve aşındırıcı ortamlarda mükemmel performansı korumasını sağlar. Konsol Paddle'ın tasarımı, levhanın işleme sırasında güvenilir bir şekilde desteklenmesini sağlayarak parçalanma ve hasar riskini azaltır.
SiC Konsol KürekOksidasyon fırını, difüzyon fırını ve tavlama fırını gibi yarı iletken imalat ekipmanlarında kullanılan özel bir bileşendir; ana kullanım alanı, yüksek sıcaklık prosesleri sırasında levhaların yüklenmesi ve boşaltılması, levhaların desteklenmesi ve taşınmasıdır.
Ortak yapılarile ilgiliSiCcanti kaldıraçpEklemek: Bir ucu sabit, diğer ucu serbest olan konsol yapısı tipik olarak düz ve kürek benzeri bir tasarıma sahiptir.
VET Energy, kaliteyi garanti etmek için yüksek saflıkta yeniden kristalize edilmiş silisyum karbür malzemeler kullanır.
| Yeniden Kristalize Silisyum Karbürün fiziksel özellikleri | |
| Mülk | Tipik Değer |
| Çalışma sıcaklığı (°C) | 1600°C (oksijenli), 1700°C (indirgeyici ortam) |
| SiC içeriği | > %99,96 |
| Ücretsiz Si içeriği | < %0,1 |
| Yığın yoğunluğu | 2,60-2,70 gr/cm3 |
| Görünür gözeneklilik | < %16 |
| Sıkıştırma gücü | > 600MPa |
| Soğuk bükülme mukavemeti | 80-90 MPa (20°C) |
| Sıcak bükülme mukavemeti | 90-100 MPa (1400°C) |
| Termal genleşme @1500°C | 4,70 10-6/°C |
| Isı iletkenliği @1200°C | 23W/m•K |
| Elastik modül | 240 GPa |
| Termal şok direnci | Son derece iyi |
VET Energy'nin Gofret İşleme için Gelişmiş SiC Konsol Paddle'ının avantajları şunlardır:
-Yüksek sıcaklık stabilitesi: 1600°C'nin üzerindeki ortamlarda kullanılabilir;
-Düşük termal genleşme katsayısı: boyutsal stabiliteyi korur, levhanın çarpılma riskini azaltır;
-Yüksek saflık: daha düşük metal kirliliği riski;
-Kimyasal inertlik: korozyona dayanıklı, çeşitli gaz ortamlarına uygun;
-Yüksek mukavemet ve sertlik: Aşınmaya dayanıklı, uzun servis ömrü;
-İyi ısı iletkenliği: düzgün gofret ısıtmasına yardımcı olur.
