SiC Coated Barrel Susceptor

Maikling Paglalarawan:

Ang VET Energy SiC Coated Barrel Susceptor ay isang produkto na may mataas na pagganap na idinisenyo upang magbigay ng pare-pareho at maaasahang pagganap sa loob ng mahabang panahon. Mayroon itong napakahusay na paglaban sa init at pagkakapareho ng thermal, mataas na kadalisayan, paglaban sa pagguho, na ginagawa itong perpektong solusyon para sa mga aplikasyon sa pagpoproseso ng wafer.

Lugar ng Pinagmulan:Tsina

Istraktura ng Kristal:FCCβ phase

Densidad :3.21 g/cm;

tigas:2500 Vickers;

Laki ng Butil:2~10μm;

Kalinisan ng Kemikal:99.99995%;

Kapasidad ng init:640J·kg-1·K-1;

Temperatura ng Sublimation:2700 ℃;

Lakas ng Felexural:415 Mpa (RT 4-Point);

Young's Modulus:430 Gpa (4pt bend, 1300℃);

Thermal Expansion (CTE):4.5 10-6K-1;

Thermal Conductivity:300（W/MK）;

Magpadala ng email sa amin I-download bilang PDF

Detalye ng Produkto

Mga Tag ng Produkto

Susceptor ng bariles is a susisangkap na ginagamit sa iba't ibang proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductor.Ginagamit namin ang aming patented na teknolohiya para gawin angsusceptor ng barileskasamanapakataas na kadalisayan,mabutipatongpagkakaparehoat isang mahusay na buhay ng serbisyo, pati na rinmataas na paglaban sa kemikal at mga katangian ng thermal stability.

Ang Enerhiya ng VET ay angtunay na tagagawa ng customized na graphite at silicon carbide na mga produkto na may CVD coating,makapag-supplyiba't-ibangcustomized na mga bahagi para sa semiconductor at photovoltaic na industriya. Oang iyong teknikal na koponan ay nagmumula sa mga nangungunang institusyong lokal na pananaliksik, ay maaaring magbigay ng mas propesyonal na mga solusyon sa materyalpara sayo.

Patuloy kaming bumuo ng mga advanced na proseso upang magbigay ng mas advanced na mga materyales,atnakagawa ng eksklusibong patented na teknolohiya, na maaaring gawing mas mahigpit ang pagbubuklod sa pagitan ng coating at substrate at hindi gaanong madaling kapitan ng detatsment.

Fmga katangian ng aming mga produkto:

1. Mataas na temperatura na paglaban sa oksihenasyon hanggang 1700℃.
2. Mataas na kadalisayan atpagkakapareho ng thermal
3. Napakahusay na paglaban sa kaagnasan: acid, alkali, asin at mga organikong reagents.
4. Mataas na tigas, compact na ibabaw, pinong mga particle.
5. Mas mahabang buhay ng serbisyo at mas matibay

CVD SiC薄膜基本物理性能 Mga pangunahing pisikal na katangian ng CVD SiCpatong
性质 / Ari-arian	典型数值 / Karaniwang Halaga
晶体结构 / Istraktura ng Kristal	FCC β phase多晶，主要为（111）取向
密度 / Densidad	3.21 g/cm³
硬度 / Katigasan	2500 维氏硬度（500g load）
晶粒大小 / Sukat ng Butil	2~10μm
纯度 / Kadalisayan ng Kemikal	99.99995%
热容 / Kapasidad ng init	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura ng Sublimation	2700 ℃
抗弯强度 / Flexural na Lakas	415 MPa RT 4-point
杨氏模量 / Young's Modulus	430 Gpa 4pt bend, 1300℃
导热系数 / ThermalKonduktibidad	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Thermal Expansion(CTE)	4.5×10^-6K^-1