MOCVD Substrate Heater, Mga Heating Element Para sa MOCVD
Graphite heater:
Ang mga bahagi ng graphite heater ay ginagamit sa mataas na temperatura na pugon na may temperatura na umabot sa 2200 degree sa vacuum na kapaligiran at 3000 degree sa deoxidized at nakapasok na kapaligiran ng gas.
Pangunahing tampok ng graphite heater:
1. pagkakapareho ng istraktura ng pag-init.
2. magandang electrical conductivity at mataas na electrical load.
3. paglaban sa kaagnasan.
4. inoxidizability.
5. mataas na kadalisayan ng kemikal.
6. mataas na mekanikal na lakas.
Ang kalamangan ay mahusay sa enerhiya, mataas na halaga at mababang pagpapanatili.
Makakagawa tayo ng anti-oxidation at mahabang buhay na graphite crucible, graphite mold at lahat ng bahagi ng graphite heater.
Pangunahing mga parameter ng graphite heater:
Ang mga bahagi ng graphite heater ay ginagamit sa mataas na temperatura na pugon na may temperatura na umabot sa 2200 degree sa vacuum na kapaligiran at 3000 degree sa deoxidized at nakapasok na kapaligiran ng gas.
Pangunahing tampok ng graphite heater:
1. pagkakapareho ng istraktura ng pag-init.
2. magandang electrical conductivity at mataas na electrical load.
3. paglaban sa kaagnasan.
4. inoxidizability.
5. mataas na kadalisayan ng kemikal.
6. mataas na mekanikal na lakas.
Ang kalamangan ay mahusay sa enerhiya, mataas na halaga at mababang pagpapanatili.
Makakagawa tayo ng anti-oxidation at mahabang buhay na graphite crucible, graphite mold at lahat ng bahagi ng graphite heater.
Pangunahing mga parameter ng graphite heater:
Teknikal na Pagtutukoy | VET-M3 |
Bulk Density (g/cm3) | ≥1.85 |
Nilalaman ng Abo (PPM) | ≤500 |
Katigasan ng Shore | ≥45 |
Partikular na Paglaban (μ.Ω.m) | ≤12 |
Flexural Strength (Mpa) | ≥40 |
Lakas ng Compressive (Mpa) | ≥70 |
Max. Laki ng Butil (μm) | ≤43 |
Coefficient ng Thermal Expansion Mm/°C | ≤4.4*10-6 |
Ang graphite heater para sa electric furnace ay may mga katangian ng heat resistance, oxidation resistance, magandang electrical conductivity at mas mahusay na mechanical intensity. Maaari kaming makina ng iba't ibang uri ng graphite heater ayon sa mga disenyo ng mga customer.