Paano linisin ang PECVD graphite boat？| Enerhiya ng VET

1. Pagkilala bago linisin

1) Kapag angbangkang grapayt ng PECVDAng /carrier ay ginagamit ng higit sa 100 hanggang 150 beses, kailangang suriin ng operator ang kondisyon ng coating sa oras. Kung mayroong abnormal na patong, kailangan itong linisin at kumpirmahin. Ang normal na kulay ng coating ng silicon wafer sa graphite boat/carrier ay asul. Kung ang wafer ay may hindi asul, maraming kulay, o ang pagkakaiba ng kulay sa pagitan ng mga wafer ay malaki, ito ay isang abnormal na patong, at ang sanhi ng abnormalidad ay kailangang kumpirmahin sa oras.
2) Pagkatapos ng proseso, pag-aralan ng mga tauhan ang kondisyon ng patong ngbangkang grapayt ng PECVD/carrier, tutukuyin nila kung kailangang linisin ang graphite boat at kung kailangang palitan ang card point, at ang graphite boat/carrier na kailangang linisin ay ibibigay sa mga tauhan ng kagamitan para sa paglilinis.

 

3) Pagkatapos ngbangkang grapayt/carrier ay nasira, ang mga tauhan ng produksyon ay kukuha ng lahat ng mga silicon na wafer sa graphite boat at gagamit ng CDA (compressed air) upang ayusin ang mga fragment sabangkang grapayt. Pagkatapos makumpleto, ilalabas ito ng mga tauhan ng kagamitan sa tangke ng acid na inihanda na may isang tiyak na proporsyon ng solusyon sa HF para sa paglilinis.

 

2. Paglilinis ng graphite boat

Inirerekomenda na gumamit ng 15-25% hydrofluoric acid solution para sa tatlong round ng paglilinis, bawat isa sa loob ng 4-5 na oras, at panaka-nakang pagbubula ng nitrogen sa panahon ng proseso ng pagbabad at paglilinis, pagdaragdag ng halos kalahating oras ng paglilinis; tandaan: hindi inirerekomenda na direktang gumamit ng hangin bilang pinagmumulan ng gas para sa bulubok. Pagkatapos ng pag-aatsara, banlawan ng purong tubig sa loob ng mga 10 oras, at kumpirmahin na ang bangka ay lubusang nalinis. Pagkatapos maglinis, pakisuri ang ibabaw ng bangka, ang graphite card point at ang boat sheet joint, at iba pang bahagi upang makita kung mayroong anumang silicon nitride residue. Pagkatapos ay tuyo ayon sa mga kinakailangan.

3. Pag-iingat sa paglilinis

A) Dahil ang HF acid ay isang lubhang kinakaing unti-unti at may tiyak na pagkasumpungin, ito ay mapanganib sa mga operator. Samakatuwid, ang mga operator sa paglilinis ng post ay dapat gumawa ng mga pag-iingat sa kaligtasan at pinamamahalaan ng isang dedikadong tao.

B) Inirerekomenda na i-disassemble ang bangka at linisin lamang ang bahagi ng grapayt sa panahon ng paglilinis, upang ang bawat bahagi ng contact ay mas malinis nang lubusan. Sa kasalukuyan, maraming mga domestic na tagagawa ang gumagamit ng pangkalahatang paglilinis, na maginhawa, ngunit dahil ang HF acid ay kinakaing unti-unti sa mga ceramic na bahagi, ang pangkalahatang paglilinis ay paikliin ang buhay ng serbisyo ng mga kaukulang bahagi.