Silicon Carbide Coated Graphite Susceptor para sa LED Etching

Maikling Paglalarawan:

Ang silicone carbide susceptor para sa LED etching (SiC tray) ay isang espesyal na accessory para sa deep silicon etching (ICP etching machine). wafer carrier, na kilala rin bilang wafer carrier, silicon wafer carrier, na kilala rin bilang pocket wafer. Malawakang ginagamit sa semiconductor CVD at vacuum sputtering.


Detalye ng Produkto

Mga Tag ng Produkto

Silicon carbide coated susceptor aya susisangkap na ginagamit sa iba't ibang proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductor.Ginagamit namin ang aming patented na teknolohiya para gawin ang silicon carbide coated susceptor na maynapakataas na kadalisayan,mabutipatongpagkakaparehoat isang mahusay na buhay ng serbisyo, pati na rinmataas na paglaban sa kemikal at mga katangian ng thermal stability.

Ang Enerhiya ng VET ay angtunay na tagagawa ng customized na graphite at silicon carbide na mga produkto na may CVD coating,makapag-supplyiba't-ibangcustomized na mga bahagi para sa semiconductor at photovoltaic na industriya. Oang iyong teknikal na koponan ay nagmumula sa mga nangungunang institusyong lokal na pananaliksik, ay maaaring magbigay ng mas propesyonal na mga solusyon sa materyalpara sayo.

Patuloy kaming bumuo ng mga advanced na proseso upang magbigay ng mas advanced na mga materyales,atnakagawa ng eksklusibong patented na teknolohiya, na maaaring gawing mas mahigpit ang pagbubuklod sa pagitan ng coating at substrate at hindi gaanong madaling kapitan ng detatsment.

Fmga katangian ng aming mga produkto:

1. Mataas na temperatura na paglaban sa oksihenasyon hanggang 1700.
2. Mataas na kadalisayan atpagkakapareho ng thermal
3. Napakahusay na paglaban sa kaagnasan: acid, alkali, asin at mga organikong reagents.
4. Mataas na tigas, compact na ibabaw, pinong mga particle.
5. Mas mahabang buhay ng serbisyo at mas matibay

CVD SiC薄膜基本物理性能

Mga pangunahing pisikal na katangian ng CVD SiCpatong

性质 / Ari-arian

典型数值 / Karaniwang Halaga

晶体结构 / Istraktura ng Kristal

FCC β phase多晶,主要为(111)取向

密度 / Densidad

3.21 g/cm³

硬度 / Katigasan

2500 维氏硬度(500g load)

晶粒大小 / Sukat ng Butil

2~10μm

纯度 / Kadalisayan ng Kemikal

99.99995%

热容 / Kapasidad ng init

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Temperatura ng Sublimation

2700 ℃

抗弯强度 / Flexural na Lakas

415 MPa RT 4-point

杨氏模量 / Young's Modulus

430 Gpa 4pt bend, 1300℃

导热系数 / ThermalKonduktibidad

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Thermal Expansion(CTE)

4.5×10-6K-1

1

2

Malugod kang tinatanggap sa pagbisita sa aming pabrika, magkaroon pa tayo ng talakayan!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • Nakaraan:
  • Susunod:

  • WhatsApp Online Chat!