mal-çin her bir çydamlylygy üpjün edýärSilikon karbid wafli bilen işleýän paddelajaýyp öndürijiligi we çydamlylygy bar. Bu kremniý karbid wafli bilen işleýän pad, gurluş durnuklylygyny we işleýşini ýokary temperaturada we himiki poslama şertlerinde galmagyny üpjün etmek üçin ösen önümçilik proseslerini ulanýar. Bu innowasiýa dizaýny, ýarymgeçiriji wafli işlemek üçin, esasanam ýokary takyk awtomatlaşdyrylan amallar üçin ajaýyp goldaw berýär.
SiC Cantilever Paddleokislenme peçleri, diffuziýa peçleri we ýanýan peç ýaly ýarymgeçiriji önümçilik enjamlarynda ulanylýan ýöriteleşdirilen komponent, esasy ulanylyşy ýokary temperatura proseslerinde wafli ýüklemek we düşürmek, wafli goldamak we daşamak üçin ulanylýar.
Umumy gurluşlarofSiCcantileverpaddle: bir ujunda berkidilen we beýleki tarapynda erkin kantilwer gurluşy, adatça tekiz we pälwan ýaly dizaýna eýe.
IşlemekprincipleofSiCcantileverpaddle:
Kantilýwer padrini peç kamerasynyň içinde ýokaryk, aşak ýa-da yza süýşürip bilýär, wafli ýükleýän ýerlerden gaýtadan işleýän ýerlere ýa-da gaýtadan işleýän ýerlere, ýokary temperaturaly gaýtadan işlemekde wafli goldaýar we durnuklaşdyrýar.
| Gaýtadan gurlan kremniy karbidiň fiziki aýratynlyklary | |
| Emläk | Adaty baha |
| Iş temperaturasy (° C) | 1600 ° C (kislorod bilen), 1700 ° C (daşky gurşawy azaltmak) |
| SiC mazmuny | > 99,96% |
| Mugt Si mazmuny | <0,1% |
| Köp dykyzlygy | 2.60-2,70 g / sm3 |
| Görnüşi gözenek | <16% |
| Gysyş güýji | > 600 MPa |
| Sowuk egilme güýji | 80-90 MPa (20 ° C) |
| Gyzgyn egilme güýji | 90-100 MPa (1400 ° C) |
| Malylylyk giňelişi @ 1500 ° C. | 4.70 10-6/ ° C. |
| Malylylyk geçirijiligi @ 1200 ° C. | 23 W / m • K. |
| Elastik modul | 240 GPa |
| Malylylyk zarbasyna garşylyk | Örän gowy |
