ÖsenSiC Cantilever PaddleWet-Hytaý tarapyndan döredilen Wafer gaýtadan işlemek ýarymgeçiriji öndürmek üçin ajaýyp çözgüt hödürleýär. Bu kantilwer paddasy SiC (kremniy karbid) materialyndan ýasalýar we ýokary gatylygy we ýylylyga garşylygy ýokary temperaturada we poslaýjy şertlerde ajaýyp öndürijiligi saklamaga mümkinçilik berýär. “Cantilever Paddle” -iň dizaýny, wafli gaýtadan işlemek wagtynda ygtybarly goldamaga mümkinçilik berýär, böleklere we zeperlere sezewar bolýar.
SiC Cantilever Paddleokislenme peçleri, diffuziýa peçleri we ýanýan peç ýaly ýarymgeçiriji önümçilik enjamlarynda ulanylýan ýöriteleşdirilen komponent, esasy ulanylyşy ýokary temperatura proseslerinde wafli ýüklemek we düşürmek, wafli goldamak we daşamak üçin ulanylýar.
Umumy gurluşlarofSiCcantileverpaddle: bir ujunda berkidilen we beýleki tarapynda erkin kantilwer gurluşy, adatça tekiz we pälwan ýaly dizaýna eýe.
VET Energy hilini kepillendirmek üçin ýokary arassalygy gaýtadan gurlan kremniy karbid materiallaryny ulanýar.
| Gaýtadan gurlan kremniy karbidiň fiziki aýratynlyklary | |
| Emläk | Adaty baha |
| Iş temperaturasy (° C) | 1600 ° C (kislorod bilen), 1700 ° C (daşky gurşawy azaltmak) |
| SiC mazmuny | > 99,96% |
| Mugt Si mazmuny | <0,1% |
| Köp dykyzlygy | 2.60-2,70 g / sm3 |
| Görnüşi gözenek | <16% |
| Gysyş güýji | > 600MPa |
| Sowuk egilme güýji | 80-90 MPa (20 ° C) |
| Gyzgyn egilme güýji | 90-100 MPa (1400 ° C) |
| Malylylyk giňelişi @ 1500 ° C. | 4.70 10-6/ ° C. |
| Malylylyk geçirijiligi @ 1200 ° C. | 23W / m • K. |
| Elastik modul | 240 GPa |
| Malylylyk zarbasyna garşylyk | Örän gowy |
Waferi gaýtadan işlemek üçin VET Energy-iň Advanced SiC Cantilever Paddle-iň artykmaçlyklary:
- temperatureokary temperaturanyň durnuklylygy: 1600 ° C-den ýokary şertlerde ulanylýar;
-Erki ýylylyk giňelme koeffisiýenti: ölçeg durnuklylygyny saklaýar, wafli sahypa töwekgelçiligini azaldýar;
- highokary arassalygy: metalyň hapalanmagynyň pes töwekgelçiligi;
-Himiki inertlik: dürli gaz gurşawy üçin poslama çydamly;
-Bu güýç we gatylyk: Geýmäge çydamly, uzak ömri;
- Gowy ýylylyk geçirijiligi: birmeňzeş wafli gyzdyrmaga kömek edýär.
