คุณสมบัติ:
· ทนต่อแรงกระแทกจากความร้อนได้ดีเยี่ยม
· ทนต่อแรงกระแทกทางกายภาพได้ดีเยี่ยม
· ทนสารเคมี ดีเยี่ยม
· มีความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษ
· มีจำหน่ายในรูปทรงที่ซับซ้อน
·ใช้งานได้ภายใต้บรรยากาศออกซิไดซ์
แอปพลิเคชัน:
คุณสมบัติและข้อดีของผลิตภัณฑ์:
1. ความต้านทานความร้อนที่เหนือกว่า:ด้วยความบริสุทธิ์สูงการเคลือบ SiCพื้นผิวทนทานต่ออุณหภูมิที่สูงมาก ทำให้มั่นใจได้ถึงประสิทธิภาพที่สม่ำเสมอในสภาพแวดล้อมที่มีความต้องการ เช่น การผลิตเอพิแทกซีและเซมิคอนดักเตอร์
2. เพิ่มความทนทาน:ส่วนประกอบกราไฟท์ที่เคลือบ SiC ได้รับการออกแบบมาเพื่อต้านทานการกัดกร่อนของสารเคมีและการเกิดออกซิเดชัน ซึ่งช่วยเพิ่มอายุการใช้งานของซับสเตรตเมื่อเปรียบเทียบกับซับสเตรตกราไฟท์มาตรฐาน
3. กราไฟท์เคลือบแก้ว:โครงสร้างแก้วน้ำอันเป็นเอกลักษณ์ของการเคลือบ SiCให้ความแข็งพื้นผิวที่ดีเยี่ยม ลดการสึกหรอระหว่างการประมวลผลที่อุณหภูมิสูง
4. การเคลือบ SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูง:วัสดุพิมพ์ของเรารับประกันการปนเปื้อนน้อยที่สุดในกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ที่มีความละเอียดอ่อน ให้ความน่าเชื่อถือสำหรับอุตสาหกรรมที่ต้องการความบริสุทธิ์ของวัสดุที่เข้มงวด
5. แอปพลิเคชั่นตลาดกว้าง:ที่ตัวรับกราไฟท์เคลือบ SiCตลาดยังคงเติบโตอย่างต่อเนื่องตามความต้องการผลิตภัณฑ์เคลือบ SiC ขั้นสูงในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์เพิ่มขึ้น ทำให้สารตั้งต้นนี้เป็นผู้เล่นหลักในตลาดผู้ให้บริการแผ่นเวเฟอร์กราไฟท์และตลาดถาดกราไฟท์เคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์
คุณสมบัติทั่วไปของวัสดุกราไฟท์ฐาน:
| ความหนาแน่นปรากฏ: | 1.85 ก./ซม.3 |
| ความต้านทานไฟฟ้า: | 11 ไมโครโอห์มม |
| แรงดัดงอ: | 49 เมกะปาสคาล (500kgf/cm2) |
| ความแข็งฝั่ง: | 58 |
| เถ้า: | <5 หน้าต่อนาที |
| การนำความร้อน: | 116 วัตต์/กิโลแคลอรี (100 กิโลแคลอรี/เมกะเฮิรตซ์-℃) |
| ซีวีดี SiC薄膜基本物理性能 คุณสมบัติทางกายภาพพื้นฐานของ CVD SiCการเคลือบ | |
| 性质 / ทรัพย์สิน | 典型数值 / ค่าทั่วไป |
| 晶体结构 / โครงสร้างคริสตัล | FCC β เฟส 多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / ความหนาแน่น | 3.21 ก./ซม.³ |
| 硬度 / ความแข็ง | 2,500 กระป๋อง (โหลด 500 กรัม) |
| 晶粒大小 / เกรน SiZe | 2~10ไมโครเมตร |
| 纯度 / ความบริสุทธิ์ของสารเคมี | 99.99995% |
| 热容 / ความจุความร้อน | 640 เจ·กก-1·เค-1 |
| 升华温度 / อุณหภูมิการระเหิด | 2,700 ℃ |
| 抗弯强度 / ความแข็งแรงของแรงดัดงอ | 415 MPa RT 4 จุด |
| 杨氏模量 / โมดูลัสของยัง | 430 Gpa 4pt โค้งงอ 1300 ℃ |
| 导热系数 / การนำความร้อน | 300W·ม-1·เค-1 |
| 热膨胀系数 / การขยายตัวทางความร้อน (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
VET Energy เป็นผู้ผลิตผลิตภัณฑ์กราไฟท์และซิลิกอนคาร์ไบด์ที่ปรับแต่งตามความต้องการอย่างแท้จริงซึ่งมีการเคลือบที่แตกต่างกัน เช่น การเคลือบ SiC, การเคลือบ TaC, การเคลือบคาร์บอนแบบแก้ว, การเคลือบคาร์บอนไพโรไลติก ฯลฯ สามารถจัดหาชิ้นส่วนแบบกำหนดเองต่างๆ สำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และไฟฟ้าโซลาร์เซลล์
ทีมเทคนิคของเรามาจากสถาบันวิจัยชั้นนำในประเทศ สามารถจัดหาโซลูชันวัสดุที่เป็นมืออาชีพมากขึ้นให้กับคุณได้
เราพัฒนากระบวนการขั้นสูงอย่างต่อเนื่องเพื่อจัดหาวัสดุขั้นสูงยิ่งขึ้น และได้พัฒนาเทคโนโลยีที่ได้รับสิทธิบัตรเฉพาะ ซึ่งสามารถทำให้การยึดเกาะระหว่างการเคลือบและซับสเตรตแน่นขึ้น และมีแนวโน้มที่จะหลุดออกน้อยลง
ยินดีต้อนรับคุณอย่างอบอุ่นเพื่อเยี่ยมชมโรงงานของเรา มาพูดคุยกันเพิ่มเติม!
