ตัวพากราไฟท์ MOCVD พร้อมการเคลือบ CVD SiC

คำอธิบายสั้น ๆ :

VET Energy SiC Coated MOCVD Susceptor เป็นผลิตภัณฑ์ประสิทธิภาพสูงที่ออกแบบมาเพื่อให้ประสิทธิภาพที่สม่ำเสมอและเชื่อถือได้ตลอดระยะเวลาที่ขยายออกไป มีความต้านทานความร้อนและความสม่ำเสมอทางความร้อนที่ดีเยี่ยม มีความบริสุทธิ์สูง ทนต่อการกัดกร่อน ทำให้เป็นโซลูชั่นที่สมบูรณ์แบบสำหรับการใช้งานในการประมวลผลแผ่นเวเฟอร์

 


รายละเอียดสินค้า

แท็กสินค้า

ตัวรับกราไฟท์เคลือบ SiC เป็นส่วนประกอบสำคัญที่ใช้ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ต่างๆ เราใช้เทคโนโลยีที่จดสิทธิบัตรของเราเพื่อสร้างตัวรับที่มีความบริสุทธิ์สูงมาก มีความสม่ำเสมอของการเคลือบที่ดีและมีอายุการใช้งานที่ดีเยี่ยม เช่นเดียวกับคุณสมบัติทนต่อสารเคมีและเสถียรภาพทางความร้อนสูง

6

คุณสมบัติของผลิตภัณฑ์ของเรา:

1. ทนต่อการเกิดออกซิเดชันที่อุณหภูมิสูงถึง 1,700 ℃
2. มีความบริสุทธิ์สูงและสม่ำเสมอทางความร้อน
3. ทนต่อการกัดกร่อนได้ดีเยี่ยม: กรด ด่าง เกลือ และรีเอเจนต์อินทรีย์

4. มีความแข็งสูง พื้นผิวกะทัดรัด อนุภาคละเอียด
5. อายุการใช้งานยาวนานขึ้นและทนทานมากขึ้น

ซีวีดี SiC薄膜基本物理性能

คุณสมบัติทางกายภาพพื้นฐานของ CVD SiCการเคลือบ

性质 / คุณสมบัติ

典型数值 / ค่าทั่วไป

晶体结构 /โครงสร้างคริสตัล

เฟส FCC β多晶,主要为(111)取向

密度 / ความหนาแน่น

3.21 ก./ซม.³

硬度 /ความแข็ง

2,500 กระป๋อง (โหลด 500 กรัม)

晶粒大小 / เมล็ดข้าว SiZe

2~10ไมโครเมตร

纯度 / ความบริสุทธิ์ของสารเคมี

99.99995%

热容 /ความจุความร้อน

640 เจ·กก-1·เค-1

升华温度 /อุณหภูมิระเหิด

2,700 ℃

抗弯强度 / แรงดัดงอ

415 MPa RT 4 จุด

杨氏模量 / โมดูลัสของยัง

430 Gpa 4pt โค้งงอ 1300 ℃

导热系数 / เธอร์มาการนำไฟฟ้า

300W·ม-1·เค-1

热膨胀系数 / การขยายตัวทางความร้อน(CTE)

4.5×10-6K-1

1

2

VET Energy เป็นผู้ผลิตผลิตภัณฑ์กราไฟท์และซิลิกอนคาร์ไบด์ที่ปรับแต่งตามความต้องการอย่างแท้จริงซึ่งมีการเคลือบที่แตกต่างกัน เช่น การเคลือบ SiC, การเคลือบ TaC, การเคลือบคาร์บอนแบบแก้ว, การเคลือบคาร์บอนไพโรไลติก ฯลฯ สามารถจัดหาชิ้นส่วนแบบกำหนดเองต่างๆ สำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และไฟฟ้าโซลาร์เซลล์

ทีมเทคนิคของเรามาจากสถาบันวิจัยชั้นนำในประเทศ สามารถจัดหาโซลูชันวัสดุที่เป็นมืออาชีพมากขึ้นให้กับคุณได้

เราพัฒนากระบวนการขั้นสูงอย่างต่อเนื่องเพื่อจัดหาวัสดุขั้นสูงยิ่งขึ้น และได้พัฒนาเทคโนโลยีที่ได้รับสิทธิบัตรเฉพาะ ซึ่งสามารถทำให้การยึดเกาะระหว่างการเคลือบและซับสเตรตแน่นขึ้น และมีแนวโน้มที่จะหลุดออกน้อยลง

ยินดีต้อนรับคุณอย่างอบอุ่นเพื่อเยี่ยมชมโรงงานของเรา มาพูดคุยกันเพิ่มเติม!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • ก่อนหน้า:
  • ต่อไป:

  • แชทออนไลน์ WhatsApp!