ถาดแผ่นอีพิแอกเชียลซิลิคอนคาร์ไบด์สำหรับเตาอีปิแอกเชียลเซมิคอนดักเตอร์

คำอธิบายสั้น ๆ :

VET Energy ถาดแผ่นอีปิแอกเชียลซิลิคอนคาร์ไบด์เป็นผลิตภัณฑ์ประสิทธิภาพสูงที่ออกแบบมาเพื่อมอบประสิทธิภาพที่สม่ำเสมอและเชื่อถือได้ตลอดระยะเวลาที่ขยายออกไป มีความต้านทานความร้อนและความสม่ำเสมอทางความร้อนที่ดีเยี่ยม มีความบริสุทธิ์สูง ทนต่อการกัดกร่อน ทำให้เป็นโซลูชั่นที่สมบูรณ์แบบสำหรับการใช้งานในการประมวลผลแผ่นเวเฟอร์


รายละเอียดสินค้า

แท็กสินค้า

ตัวเหนี่ยวนำ SiC1
ตัวเหนี่ยวนำ SiC2

ถาดแผ่นซิลิคอนคาร์ไบด์เป็นส่วนประกอบสำคัญที่ใช้ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ต่างๆ เราใช้เทคโนโลยีที่ได้รับสิทธิบัตรของเราในการผลิตถาดแผ่นซิลิกอนคาร์ไบด์ที่มีความบริสุทธิ์สูงมาก มีความสม่ำเสมอในการเคลือบที่ดี และมีอายุการใช้งานที่ดีเยี่ยม รวมถึงมีคุณสมบัติทนต่อสารเคมีและเสถียรภาพทางความร้อนสูง

VET Energy คือผู้ผลิตผลิตภัณฑ์กราไฟท์และซิลิคอนคาร์ไบด์ที่ปรับแต่งตามความต้องการอย่างแท้จริงซึ่งมีการเคลือบที่แตกต่างกัน เช่น SiC, Tac, ไพโรไลติกคาร์บอน, คาร์บอนคล้ายแก้ว ฯลฯ สามารถจัดหาชิ้นส่วนที่ปรับแต่งได้หลากหลายสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และไฟฟ้าโซลาร์เซลล์ ทีมเทคนิคของเรามาจากสถาบันวิจัยชั้นนำในประเทศ สามารถจัดหาโซลูชันวัสดุที่เป็นมืออาชีพมากขึ้นให้กับคุณได้

เราพัฒนากระบวนการขั้นสูงอย่างต่อเนื่องเพื่อจัดหาวัสดุขั้นสูงยิ่งขึ้น และได้คิดค้นเทคโนโลยีที่ได้รับสิทธิบัตรเฉพาะ ซึ่งสามารถทำให้การยึดเกาะระหว่างการเคลือบและซับสเตรตแน่นขึ้นและมีแนวโน้มที่จะหลุดออกน้อยลง

คุณสมบัติของผลิตภัณฑ์ของเรา:

1. ทนต่อการเกิดออกซิเดชันที่อุณหภูมิสูงถึง 1,700 ℃
2. มีความบริสุทธิ์สูงและสม่ำเสมอทางความร้อน
3. ทนต่อการกัดกร่อนได้ดีเยี่ยม: กรด ด่าง เกลือ และรีเอเจนต์อินทรีย์

4. มีความแข็งสูง พื้นผิวกะทัดรัด อนุภาคละเอียด
5. อายุการใช้งานยาวนานขึ้นและทนทานมากขึ้น

ซีวีดี SiC薄膜基本物理性能

คุณสมบัติทางกายภาพพื้นฐานของ CVD SiCการเคลือบ

性质 / คุณสมบัติ

典型数值 / ค่าทั่วไป

晶体结构 /โครงสร้างคริสตัล

เฟส FCC β多晶,主要为(111)取向

密度 / ความหนาแน่น

3.21 ก./ซม.³

硬度 /ความแข็ง

2,500 กระป๋อง (โหลด 500 กรัม)

晶粒大小 / เมล็ดข้าว SiZe

2~10ไมโครเมตร

纯度 / ความบริสุทธิ์ของสารเคมี

99.99995%

热容 /ความจุความร้อน

640 เจ·กก-1·เค-1

升华温度 /อุณหภูมิระเหิด

2,700 ℃

抗弯强度 / แรงดัดงอ

415 MPa RT 4 จุด

杨氏模量 / โมดูลัสของยัง

430 Gpa 4pt โค้งงอ 1300 ℃

导热系数 / เธอร์มาการนำไฟฟ้า

300W·ม-1·เค-1

热膨胀系数 / การขยายตัวทางความร้อน(CTE)

4.5×10-6K-1

1

2

ยินดีต้อนรับคุณอย่างอบอุ่นเข้าเยี่ยมชมโรงงานของเรา มาพูดคุยกันเพิ่มเติม!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • ก่อนหน้า:
  • ต่อไป:

  • แชทออนไลน์ WhatsApp!