เรือคริสตัลซิลิคอนคาร์ไบด์ตกผลึกใหม่สำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์

คำอธิบายสั้น:

เรือคริสตัลซิลิคอนคาร์ไบด์ตกผลึกใหม่ของ VET Energy เป็นผลิตภัณฑ์ประสิทธิภาพสูงที่ออกแบบมาเพื่อให้ประสิทธิภาพที่สม่ำเสมอและเชื่อถือได้ตลอดระยะเวลาที่ขยายออกไปมีความต้านทานความร้อนและความสม่ำเสมอทางความร้อนที่ดีเยี่ยม มีความบริสุทธิ์สูง ทนต่อการกัดกร่อน ทำให้เป็นโซลูชั่นที่สมบูรณ์แบบสำหรับการใช้งานในการประมวลผลแผ่นเวเฟอร์


รายละเอียดผลิตภัณฑ์

แท็กสินค้า

คุณสมบัติของซิลิกอนคาร์ไบด์ที่ตกผลึกซ้ำ

ซิลิคอนคาร์ไบด์ตกผลึกใหม่ (R-SiC) เป็นวัสดุประสิทธิภาพสูงที่มีความแข็งเป็นอันดับสองรองจากเพชรเท่านั้น ซึ่งก่อตัวขึ้นที่อุณหภูมิสูงกว่า 2000°Cยังคงรักษาคุณสมบัติที่ดีเยี่ยมหลายประการของ SiC เช่น ความแข็งแรงที่อุณหภูมิสูง ความต้านทานการกัดกร่อนที่แข็งแกร่ง ความต้านทานการเกิดออกซิเดชันที่ดีเยี่ยม ความต้านทานการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างรวดเร็ว และอื่นๆ

● คุณสมบัติทางกลที่ดีเยี่ยมซิลิกอนคาร์ไบด์ที่ตกผลึกใหม่มีความแข็งแรงและความแข็งสูงกว่าคาร์บอนไฟเบอร์ ทนต่อแรงกระแทกสูง สามารถแสดงประสิทธิภาพที่ดีในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูง สามารถแสดงประสิทธิภาพการถ่วงดุลที่ดีกว่าในสถานการณ์ต่างๆนอกจากนี้ยังมีความยืดหยุ่นที่ดีและไม่เสียหายง่ายจากการยืดและงอ ซึ่งช่วยเพิ่มประสิทธิภาพได้อย่างมาก

● ทนต่อการกัดกร่อนสูงซิลิกอนคาร์ไบด์ที่ตกผลึกซ้ำมีความต้านทานการกัดกร่อนสูงต่อตัวกลางหลากหลายชนิด สามารถป้องกันการกัดเซาะของตัวกลางที่มีฤทธิ์กัดกร่อนได้หลากหลาย สามารถรักษาคุณสมบัติทางกลได้เป็นเวลานาน มีการยึดเกาะที่แข็งแกร่ง เพื่อให้มีอายุการใช้งานนานขึ้นนอกจากนี้ยังมีความเสถียรทางความร้อนที่ดี สามารถปรับให้เข้ากับการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิในช่วงหนึ่ง ปรับปรุงผลการใช้งาน

● การเผาผนึกไม่หดตัวเนื่องจากกระบวนการเผาผนึกไม่หดตัว ไม่มีความเค้นตกค้างจะทำให้ผลิตภัณฑ์เสียรูปหรือแตกร้าว และสามารถเตรียมชิ้นส่วนที่มีรูปร่างซับซ้อนและมีความแม่นยำสูงได้

IMG_9497
IMG_9503

重结晶碳化硅物理特性

คุณสมบัติทางกายภาพของซิลิคอนคาร์ไบด์ตกผลึกใหม่

性质 / คุณสมบัติ

典型数值 / ค่าทั่วไป

使用温度/ อุณหภูมิในการทำงาน (°C)

1600°C (พร้อมออกซิเจน), 1700°C (ลดสภาพแวดล้อม)

ซิซี含量/ เนื้อหา SiC

> 99.96%

自由ศรี含量/เนื้อหาศรีฟรี

<0.1%

体积密度/ความหนาแน่นเป็นกลุ่ม

2.60-2.70 ก./ซม3

气孔率/ มีลักษณะพรุนอย่างเห็นได้ชัด

< 16%

抗压强度/แรงอัด

> 600MPa

常温抗弯强度/แรงดัดงอเย็น

80-90 เมกะปาสคาล (20°ซ)

高温抗弯强度แรงดัดงอร้อน

90-100 เมกะปาสคาล (1,400°C)

热膨胀系数/ การขยายตัวทางความร้อนที่ 1500°C

4.70 10-6/°ซ

导热系数/การนำความร้อนที่ 1200°C

23W/ม•เค

杨氏模量/ โมดูลัสยืดหยุ่น

240 เกรดเฉลี่ย

抗热震性/ทนต่อแรงกระแทกจากความร้อน

ดีมาก

VET Energy คือผู้ผลิตผลิตภัณฑ์กราไฟท์และซิลิคอนคาร์ไบด์แบบกำหนดเองพร้อมการเคลือบ CVD อย่างแท้จริง สามารถจัดหาชิ้นส่วนแบบกำหนดเองต่างๆ สำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และไฟฟ้าโซลาร์เซลล์ทีมเทคนิคของเรามาจากสถาบันวิจัยชั้นนำในประเทศ สามารถจัดหาโซลูชันวัสดุที่เป็นมืออาชีพมากขึ้นให้กับคุณได้

เราพัฒนากระบวนการขั้นสูงอย่างต่อเนื่องเพื่อจัดหาวัสดุขั้นสูงยิ่งขึ้น และได้พัฒนาเทคโนโลยีที่ได้รับสิทธิบัตรเฉพาะ ซึ่งสามารถทำให้การยึดเกาะระหว่างการเคลือบและซับสเตรตแน่นขึ้น และมีแนวโน้มที่จะหลุดออกน้อยลง

ยินดีต้อนรับคุณอย่างอบอุ่นเพื่อเยี่ยมชมโรงงานของเรา มาพูดคุยกันเพิ่มเติม!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • ก่อนหน้า:
  • ต่อไป:

  • แชทออนไลน์ WhatsApp!