เรือเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์ตกผลึกใหม่พร้อมการเคลือบ CVD

คำอธิบายสั้น ๆ :

เรือเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์ตกผลึกใหม่ของ VET Energy เป็นผลิตภัณฑ์ประสิทธิภาพสูงที่ออกแบบมาเพื่อให้ประสิทธิภาพที่สม่ำเสมอและเชื่อถือได้ตลอดระยะเวลาที่ขยายออกไป มีความต้านทานความร้อนและความสม่ำเสมอทางความร้อนที่ดีเยี่ยม มีความบริสุทธิ์สูง ทนต่อการกัดกร่อน ทำให้เป็นโซลูชั่นที่สมบูรณ์แบบสำหรับการใช้งานในการประมวลผลแผ่นเวเฟอร์


รายละเอียดสินค้า

แท็กสินค้า

คุณสมบัติของซิลิกอนคาร์ไบด์ที่ตกผลึกซ้ำ

ซิลิกอนคาร์ไบด์ตกผลึกใหม่ (R-SiC) เป็นวัสดุประสิทธิภาพสูงที่มีความแข็งเป็นอันดับสองรองจากเพชร ซึ่งก่อตัวขึ้นที่อุณหภูมิสูงกว่า 2000°C ยังคงรักษาคุณสมบัติที่ดีเยี่ยมหลายประการของ SiC เช่น ความแข็งแรงที่อุณหภูมิสูง ความต้านทานการกัดกร่อนที่แข็งแกร่ง ความต้านทานการเกิดออกซิเดชันที่ดีเยี่ยม ความต้านทานการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างรวดเร็ว และอื่นๆ

● คุณสมบัติทางกลที่ดีเยี่ยม ซิลิกอนคาร์ไบด์ที่ตกผลึกใหม่มีความแข็งแรงและความแข็งสูงกว่าคาร์บอนไฟเบอร์ ทนต่อแรงกระแทกสูง สามารถแสดงประสิทธิภาพที่ดีในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูง สามารถแสดงประสิทธิภาพการถ่วงดุลที่ดีกว่าในสถานการณ์ต่างๆ นอกจากนี้ยังมีความยืดหยุ่นที่ดีและไม่เสียหายง่ายจากการยืดและงอ ซึ่งช่วยเพิ่มประสิทธิภาพได้อย่างมาก

● ทนต่อการกัดกร่อนสูง ซิลิกอนคาร์ไบด์ที่ตกผลึกซ้ำมีความต้านทานการกัดกร่อนสูงต่อตัวกลางหลากหลายชนิด สามารถป้องกันการกัดเซาะของตัวกลางที่มีฤทธิ์กัดกร่อนได้หลากหลาย สามารถรักษาคุณสมบัติทางกลได้เป็นเวลานาน มีการยึดเกาะที่แข็งแกร่ง เพื่อให้มีอายุการใช้งานนานขึ้น นอกจากนี้ยังมีความเสถียรทางความร้อนที่ดี สามารถปรับให้เข้ากับการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิในช่วงหนึ่ง ปรับปรุงผลการใช้งาน

● การเผาผนึกไม่หดตัว เนื่องจากกระบวนการเผาผนึกไม่หดตัว จึงไม่มีความเค้นตกค้างจะทำให้ผลิตภัณฑ์เสียรูปหรือแตกร้าว และสามารถเตรียมชิ้นส่วนที่มีรูปร่างซับซ้อนและมีความแม่นยำสูงได้

IMG_9497
IMG_9503

重结晶碳化硅物理特性

คุณสมบัติทางกายภาพของซิลิคอนคาร์ไบด์ตกผลึกใหม่

性质 / คุณสมบัติ

典型数值 / ค่าทั่วไป

使用温度/ อุณหภูมิในการทำงาน (°C)

1600°C (พร้อมออกซิเจน), 1700°C (ลดสภาพแวดล้อม)

ซิซี含量/ เนื้อหา SiC

> 99.96%

自由ศรี含量/เนื้อหาศรีฟรี

<0.1%

体积密度/ความหนาแน่นเป็นกลุ่ม

2.60-2.70 ก./ซม3

气孔率/ มีลักษณะพรุนอย่างเห็นได้ชัด

< 16%

抗压强度/แรงอัด

> 600MPa

常温抗弯强度/แรงดัดงอเย็น

80-90 เมกะปาสคาล (20°ซ)

高温抗弯强度แรงดัดงอร้อน

90-100 เมกะปาสคาล (1,400°C)

热膨胀系数/ การขยายตัวทางความร้อนที่ 1500°C

4.70 10-6/°ซ

导热系数/การนำความร้อนที่ 1200°C

23W/ม•เค

杨氏模量/ โมดูลัสยืดหยุ่น

240 เกรดเฉลี่ย

抗热震性/ทนต่อแรงกระแทกจากความร้อน

ดีมาก

เวท พลังงาน คือ ที่ผู้ผลิตผลิตภัณฑ์กราไฟท์และซิลิกอนคาร์ไบด์แบบกำหนดเองอย่างแท้จริงพร้อมการเคลือบ CVDสามารถจัดหาได้หลากหลายชิ้นส่วนที่กำหนดเองสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และไฟฟ้าโซลาร์เซลล์ Oทีมเทคนิคของคุณมาจากสถาบันวิจัยชั้นนำในประเทศ สามารถจัดหาโซลูชั่นวัสดุที่เป็นมืออาชีพมากขึ้นสำหรับคุณ.

เราพัฒนากระบวนการขั้นสูงอย่างต่อเนื่องเพื่อจัดหาวัสดุขั้นสูงมากขึ้นและได้พัฒนาเทคโนโลยีที่ได้รับการจดสิทธิบัตรเฉพาะ ซึ่งสามารถทำให้เกิดการยึดเกาะระหว่างสารเคลือบและพื้นผิวได้แน่นขึ้น และมีแนวโน้มที่จะหลุดออกน้อยลง

ซีวีดี SiC薄膜基本物理性能

คุณสมบัติทางกายภาพพื้นฐานของ CVD SiCการเคลือบ

性质 / คุณสมบัติ

典型数值 / ค่าทั่วไป

晶体结构 /โครงสร้างคริสตัล

เฟส FCC β多晶,主要为(111)取向

密度 / ความหนาแน่น

3.21 ก./ซม.³

硬度 /ความแข็ง

2,500 กระป๋อง (โหลด 500 กรัม)

晶粒大小 / เมล็ดข้าว SiZe

2~10ไมโครเมตร

纯度 / ความบริสุทธิ์ของสารเคมี

99.99995%

热容 /ความจุความร้อน

640 เจ·กก-1·เค-1

升华温度 /อุณหภูมิระเหิด

2,700 ℃

抗弯强度 / แรงดัดงอ

415 MPa RT 4 จุด

杨氏模量 / โมดูลัสของยัง

430 Gpa 4pt โค้งงอ 1300 ℃

导热系数 / เธอร์มาการนำไฟฟ้า

300W·ม-1·เค-1

热膨胀系数 / การขยายตัวทางความร้อน(CTE)

4.5×10-6K-1

1

2

ยินดีต้อนรับคุณอย่างอบอุ่นเข้าเยี่ยมชมโรงงานของเรา มาพูดคุยกันเพิ่มเติม!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户


  • ก่อนหน้า:
  • ต่อไป:

  • แชทออนไลน์ WhatsApp!