การรองรับเวเฟอร์กราไฟท์ PECVD

แผ่นเวเฟอร์กราไฟท์ในกระบวนการ VET Energy PECVD เป็นวัสดุสิ้นเปลืองหลักที่ออกแบบมาสำหรับกระบวนการ PECVD (การสะสมไอสารเคมีด้วยพลาสม่า) ผลิตภัณฑ์นี้ทำจากวัสดุกราไฟท์ความหนาแน่นสูงที่มีความบริสุทธิ์สูง ทนต่ออุณหภูมิสูงได้ดีเยี่ยม ทนต่อการกัดกร่อน ความเสถียรของมิติ และคุณสมบัติอื่น ๆ สามารถเป็นแพลตฟอร์มรองรับที่มั่นคงสำหรับกระบวนการ PECVD เพื่อให้มั่นใจถึงความสม่ำเสมอและความเรียบของการสะสมฟิล์ม

การออกแบบ "ตัวรองรับกราไฟท์" ของตัวรองรับกราไฟท์เวเฟอร์ของ VET Energy ไม่เพียงแต่สามารถรองรับแผ่นเวเฟอร์ได้อย่างมีประสิทธิภาพเท่านั้น แต่ยังให้ความเสถียรทางความร้อนในสภาพแวดล้อม PECVD ที่มีอุณหภูมิสูงและความดันสูง เพื่อให้มั่นใจถึงความเสถียรของกระบวนการ

การรองรับเวเฟอร์กราไฟท์ในกระบวนการ VET Energy PECVD มีลักษณะดังต่อไปนี้:

ความบริสุทธิ์สูง:ปริมาณสิ่งเจือปนต่ำมาก หลีกเลี่ยงการปนเปื้อนของฟิล์ม เพื่อให้มั่นใจในคุณภาพของฟิล์ม

ความหนาแน่นสูง:ความหนาแน่นสูง ความแข็งแรงเชิงกลสูง สามารถทนต่ออุณหภูมิสูงและสภาพแวดล้อม PECVD แรงดันสูง

ความเสถียรของมิติที่ดี:การเปลี่ยนแปลงขนาดเล็กน้อยที่อุณหภูมิสูงเพื่อให้มั่นใจถึงความเสถียรของกระบวนการ

การนำความร้อนที่ดีเยี่ยม:ถ่ายเทความร้อนได้อย่างมีประสิทธิภาพเพื่อป้องกันความร้อนสูงเกินไปของเวเฟอร์

ความต้านทานการกัดกร่อนที่แข็งแกร่ง:สามารถต้านทานการกัดเซาะของก๊าซและพลาสมาที่มีฤทธิ์กัดกร่อนต่างๆ ได้

บริการที่กำหนดเอง:โต๊ะรองรับกราไฟท์ที่มีขนาดและรูปร่างต่างกันสามารถปรับแต่งได้ตามความต้องการของลูกค้า