เรือเวเฟอร์กราไฟท์ VET Energy เป็นวัสดุสิ้นเปลืองคุณภาพสูงที่ออกแบบมาสำหรับกระบวนการสะสมตัวในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ เซลล์แสงอาทิตย์ และอุตสาหกรรมอื่นๆ ผลิตจากวัสดุกราไฟท์ความหนาแน่นสูงที่มีความบริสุทธิ์สูง ผลิตภัณฑ์นี้มีความทนทานต่ออุณหภูมิสูง ทนต่อการกัดกร่อน ความเสถียรของมิติ และคุณสมบัติอื่นๆ ได้ดีเยี่ยม และสามารถเป็นแพลตฟอร์มพาหะที่มีความเสถียรสำหรับกระบวนการสะสมเพื่อให้มั่นใจถึงความสม่ำเสมอและความเรียบของการสะสมของฟิล์มบาง .
เรือกราไฟท์ PECVD จาก VET Energy ผลิตขึ้นด้วยกราไฟท์ไอโซสแตติกที่มีความบริสุทธิ์สูง โดยมีความพรุนต่ำกว่า 15% และความขรุขระของพื้นผิว Ra≤1.6μm ความคงตัวของขนาดและการนำความร้อนที่เหนือกว่าช่วยให้มั่นใจได้ถึงการสะสมของฟิล์มที่สม่ำเสมอและประสิทธิภาพของเซลล์ที่เพิ่มขึ้น
วัสดุกราไฟท์จาก SGL:
พารามิเตอร์ทั่วไป: R6510 | |||
ดัชนี | มาตรฐานการทดสอบ | ค่า | หน่วย |
ขนาดเกรนเฉลี่ย | ISO13320 | 10 | ไมโครเมตร |
ความหนาแน่นเป็นกลุ่ม | มาตรฐาน DIN IEC 60413/204 | 1.83 | กรัม/ซม3 |
เปิดรูพรุน | ดิน66133 | 10 | % |
ขนาดรูขุมขนปานกลาง | ดิน66133 | 1.8 | ไมโครเมตร |
การซึมผ่าน | ดิน 51935 | 0.06 | ซม.²/วินาที |
ความแข็งแบบร็อกเวลล์ HR5/100 | ดิน IEC60413/303 | 90 | HR |
ความต้านทานไฟฟ้าจำเพาะ | ดินไออีซี 60413/402 | 13 | μΩm |
ความแข็งแรงของแรงดัดงอ | ดินไออีซี 60413/501 | 60 | MPa |
กำลังรับแรงอัด | ดิน 51910 | 130 | MPa |
โมดูลัสของยัง | ดิน 51915 | 11.5×10³ | MPa |
การขยายตัวทางความร้อน (20-200 ℃) | ดิน 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
การนำความร้อน (20 ℃) | ดิน 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
ได้รับการออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับการผลิตเซลล์แสงอาทิตย์ประสิทธิภาพสูง โดยรองรับการประมวลผลแผ่นเวเฟอร์ขนาดใหญ่ G12 การออกแบบตัวขนส่งที่ได้รับการปรับปรุงให้เหมาะสมช่วยเพิ่มปริมาณงานได้อย่างมาก ทำให้ได้รับอัตราผลตอบแทนที่สูงขึ้นและต้นทุนการผลิตที่ลดลง
รายการ | พิมพ์ | ผู้ให้บริการเวเฟอร์จำนวน |
เรือ Grephite PEVCD - รุ่น 156 | เรือเกรไฟต์ 156-13 | 144 |
เรือเกรไฟท์ 156-19 | 216 | |
เรือเกรไฟท์ 156-21 | 240 | |
เรือกราไฟท์ 156-23 | 308 | |
เรือ Grephite PEVCD - รุ่น 125 | เรือเกรไฟท์ 125-15 | 196 |
เรือเกรไฟท์ 125-19 | 252 | |
เรือกราไฟท์ 125-21 | 280 |