ถาดใส่ VET Energy PECVD เป็นพาหะที่มีความแม่นยำ ซึ่งออกแบบมาสำหรับกระบวนการ PECVD (การสะสมไอสารเคมีด้วยพลาสมาเสริม) ถาดกราไฟท์สะสมคุณภาพสูงนี้ทำจากวัสดุกราไฟท์ความหนาแน่นสูงที่มีความบริสุทธิ์สูง มีความต้านทานต่ออุณหภูมิสูง ทนต่อการกัดกร่อน ความเสถียรของมิติ และลักษณะอื่น ๆ ได้ดีเยี่ยม โดยสามารถเป็นแพลตฟอร์มพาหะที่มีความเสถียรสำหรับกระบวนการ PECVD และรับประกันความสม่ำเสมอและความเรียบของการสะสมฟิล์ม
ถาดใส่กระดาษ VET Energy PECVD ใช้กันอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ไฟฟ้าโซลาร์เซลล์ LED และสาขาอื่นๆ ตัวอย่างเช่น:
▪ เซมิคอนดักเตอร์: กระบวนการ PECVD สำหรับวัสดุเซมิคอนดักเตอร์ เช่น เวเฟอร์ซิลิคอนและเวเฟอร์เอพิแทกเซียล
▪ ไฟฟ้าโซลาร์เซลล์: กระบวนการ PECVD สำหรับฟิล์มบางของเซลล์แสงอาทิตย์
▪ LED: กระบวนการ PECVD สำหรับชิป LED
ข้อดีของผลิตภัณฑ์
ปรับปรุงคุณภาพภาพยนตร์:รับประกันการสะสมของฟิล์มที่สม่ำเสมอและปรับปรุงคุณภาพของฟิล์ม
ยืดอายุอุปกรณ์:ทนต่อการกัดกร่อนได้ดีเยี่ยม ยืดอายุการใช้งานของอุปกรณ์ PECVD
ลดต้นทุนการผลิต:ถาดกราไฟท์คุณภาพสูงสามารถลดอัตราของเสียและลดต้นทุนการผลิตได้
วัสดุกราไฟท์จาก SGL:
| พารามิเตอร์ทั่วไป: R6510 | |||
| ดัชนี | มาตรฐานการทดสอบ | ค่า | หน่วย |
| ขนาดเกรนเฉลี่ย | ISO13320 | 10 | ไมโครเมตร |
| ความหนาแน่นเป็นกลุ่ม | มาตรฐาน DIN IEC 60413/204 | 1.83 | กรัม/ซม3 |
| เปิดรูพรุน | ดิน66133 | 10 | % |
| ขนาดรูขุมขนปานกลาง | ดิน66133 | 1.8 | ไมโครเมตร |
| การซึมผ่าน | ดิน 51935 | 0.06 | ซม.²/วินาที |
| ความแข็งแบบร็อกเวลล์ HR5/100 | ดิน IEC60413/303 | 90 | HR |
| ความต้านทานไฟฟ้าจำเพาะ | ดินไออีซี 60413/402 | 13 | μΩm |
| ความแข็งแรงของแรงดัดงอ | ดินไออีซี 60413/501 | 60 | MPa |
| กำลังรับแรงอัด | ดิน 51910 | 130 | MPa |
| โมดูลัสของยัง | ดิน 51915 | 11.5×10³ | MPa |
| การขยายตัวทางความร้อน (20-200 ℃) | ดิน 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| การนำความร้อน (20 ℃) | ดิน 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
ได้รับการออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับการผลิตเซลล์แสงอาทิตย์ประสิทธิภาพสูง โดยรองรับการประมวลผลแผ่นเวเฟอร์ขนาดใหญ่ G12 การออกแบบตัวขนส่งที่ได้รับการปรับปรุงให้เหมาะสมช่วยเพิ่มปริมาณงานได้อย่างมาก ทำให้ได้รับอัตราผลตอบแทนที่สูงขึ้นและต้นทุนการผลิตที่ลดลง
| รายการ | พิมพ์ | ผู้ให้บริการเวเฟอร์จำนวน |
| เรือ Grephite PEVCD - รุ่น 156 | เรือเกรไฟต์ 156-13 | 144 |
| เรือเกรไฟท์ 156-19 | 216 | |
| เรือเกรไฟท์ 156-21 | 240 | |
| เรือกราไฟท์ 156-23 | 308 | |
| เรือ Grephite PEVCD - รุ่น 125 | เรือเกรไฟท์ 125-15 | 196 |
| เรือเกรไฟท์ 125-19 | 252 | |
| เรือกราไฟท์ 125-21 | 280 |
