ตัวพากราไฟท์เคลือบ SiC， เคลือบ sic, เคลือบ SiC ของสารตั้งต้นกราไฟท์สำหรับเซมิคอนดักเตอร์

เคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์แผ่นกราไฟท์คือการเตรียมชั้นป้องกันซิลิคอนคาร์ไบด์บนพื้นผิวของกราไฟท์โดยการสะสมและการพ่นไอทางกายภาพหรือทางเคมี ชั้นป้องกันซิลิคอนคาร์ไบด์ที่เตรียมไว้สามารถยึดติดกับเมทริกซ์กราไฟท์ได้อย่างแน่นหนา ทำให้พื้นผิวของฐานกราไฟท์มีความหนาแน่นและปราศจากช่องว่าง ทำให้มีคุณสมบัติพิเศษของเมทริกซ์กราไฟท์ รวมถึงความต้านทานต่อการเกิดออกซิเดชัน ความต้านทานต่อกรดและด่าง ความต้านทานการกัดกร่อน ความต้านทานการกัดกร่อน เป็นต้น ปัจจุบันการเคลือบ Gan เป็นหนึ่งในองค์ประกอบหลักที่ดีที่สุดสำหรับการเจริญเติบโตของเยื่อบุผิวของซิลิคอนคาร์ไบด์

เซมิคอนดักเตอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์เป็นวัสดุหลักของเซมิคอนดักเตอร์ช่องว่างแถบกว้างที่พัฒนาขึ้นใหม่ อุปกรณ์ของมันมีคุณสมบัติทนต่ออุณหภูมิสูง ทนต่อแรงดันไฟฟ้าสูง ความถี่สูง กำลังสูงและทนต่อรังสี มีข้อดีคือเปลี่ยนความเร็วได้รวดเร็วและมีประสิทธิภาพสูง สามารถลดการใช้พลังงานของผลิตภัณฑ์ ปรับปรุงประสิทธิภาพการแปลงพลังงาน และลดปริมาณผลิตภัณฑ์ได้อย่างมาก ส่วนใหญ่จะใช้ในการสื่อสาร 5g การป้องกันประเทศ และการทหาร อุตสาหกรรมสาขา RF ที่แสดงโดยการบินและอวกาศและสาขาอิเล็กทรอนิกส์กำลังที่แสดงโดยยานพาหนะพลังงานใหม่และ "โครงสร้างพื้นฐานใหม่" มีแนวโน้มทางการตลาดที่ชัดเจนและสำคัญทั้งในด้านพลเรือนและการทหาร

สารตั้งต้นซิลิคอนคาร์ไบด์เป็นวัสดุหลักของเซมิคอนดักเตอร์ช่องว่างแถบกว้างที่พัฒนาขึ้นใหม่ สารตั้งต้นซิลิคอนคาร์ไบด์ส่วนใหญ่จะใช้ในอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ไมโครเวฟ อุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์กำลัง และสาขาอื่นๆ- อยู่ที่ส่วนหน้าของห่วงโซ่อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์แบบช่องว่างแถบกว้างและเป็นวัสดุหลักพื้นฐานที่ล้ำสมัย พื้นผิวซิลิกอนคาร์ไบด์สามารถแบ่งออกเป็นสองประเภท: กึ่งฉนวนและสื่อกระแสไฟฟ้า สารตั้งต้นซิลิคอนคาร์ไบด์กึ่งฉนวนมีความต้านทานสูง (ความต้านทาน ≥ 105 Ω· cm) พื้นผิวกึ่งฉนวนรวมกับแผ่น epitaxial แกลเลียมไนไตรด์ที่ต่างกันสามารถใช้เป็นวัสดุของอุปกรณ์ RF ซึ่งส่วนใหญ่ใช้ในการสื่อสาร 5g การป้องกันประเทศและการทหารในฉากข้างต้น อีกชนิดหนึ่งคือซับสเตรตซิลิกอนคาร์ไบด์นำไฟฟ้าที่มีความต้านทานต่ำ (ช่วงความต้านทานคือ 15 ~ 30m Ω· cm) เอพิแทกซีที่เป็นเนื้อเดียวกันของซับสเตรตซิลิกอนคาร์ไบด์ที่เป็นสื่อกระแสไฟฟ้าและซิลิกอนคาร์ไบด์สามารถใช้เป็นวัสดุสำหรับอุปกรณ์ไฟฟ้าได้ สถานการณ์การใช้งานหลัก ได้แก่ ยานพาหนะไฟฟ้า ระบบไฟฟ้า และสาขาอื่นๆ