สัตวแพทย์ พลังงานตัวพากราไฟท์ในกระบวนการ PECVD เป็นวัสดุสิ้นเปลืองคุณภาพสูงที่ออกแบบมาสำหรับกระบวนการ PECVD (การสะสมไอสารเคมีด้วยพลาสม่า) ตัวพากราไฟท์นี้ทำจากวัสดุกราไฟท์ความหนาแน่นสูงที่มีความบริสุทธิ์สูง ทนต่ออุณหภูมิสูง ทนต่อการกัดกร่อน ความเสถียรของมิติ และคุณสมบัติอื่น ๆ ได้ดีเยี่ยม สามารถเป็นแพลตฟอร์มตัวพาที่มีความเสถียรสำหรับกระบวนการ PECVD เพื่อให้มั่นใจถึงความสม่ำเสมอและความเรียบของฟิล์มบาง การทับถม
ตัวพากราไฟท์สำหรับกระบวนการ PECVD มีลักษณะดังต่อไปนี้:
▪ ความบริสุทธิ์สูง: มีปริมาณสิ่งเจือปนต่ำมาก หลีกเลี่ยงการปนเปื้อนของฟิล์มและรับประกันคุณภาพของฟิล์ม
▪ ความหนาแน่นสูง: ความหนาแน่นสูง ความแข็งแรงเชิงกลสูง สามารถทนต่ออุณหภูมิสูงและสภาพแวดล้อม PECVD แรงดันสูงได้
▪ ความคงตัวของขนาดที่ดี: การเปลี่ยนแปลงขนาดเล็กน้อยที่อุณหภูมิสูง ทำให้มั่นใจได้ถึงความเสถียรของกระบวนการ
▪ การนำความร้อนที่ดีเยี่ยม: ถ่ายเทความร้อนได้อย่างมีประสิทธิภาพเพื่อป้องกันเวเฟอร์ร้อนเกินไป
▪ ทนทานต่อการกัดกร่อนสูง: สามารถต้านทานการกัดเซาะของก๊าซและพลาสมาที่มีฤทธิ์กัดกร่อนต่างๆ
▪ บริการที่กำหนดเอง: ตัวพากราไฟท์ที่มีขนาดและรูปร่างต่างกันสามารถปรับแต่งได้ตามความต้องการของลูกค้า
วัสดุกราไฟท์จาก SGL:
| พารามิเตอร์ทั่วไป: R6510 | |||
| ดัชนี | มาตรฐานการทดสอบ | ค่า | หน่วย |
| ขนาดเกรนเฉลี่ย | ISO13320 | 10 | ไมโครเมตร |
| ความหนาแน่นเป็นกลุ่ม | มาตรฐาน DIN IEC 60413/204 | 1.83 | กรัม/ซม3 |
| เปิดรูพรุน | ดิน66133 | 10 | % |
| ขนาดรูขุมขนปานกลาง | ดิน66133 | 1.8 | ไมโครเมตร |
| การซึมผ่าน | ดิน 51935 | 0.06 | ซม.²/วินาที |
| ความแข็งแบบร็อกเวลล์ HR5/100 | ดิน IEC60413/303 | 90 | HR |
| ความต้านทานไฟฟ้าจำเพาะ | ดินไออีซี 60413/402 | 13 | μΩm |
| ความแข็งแรงของแรงดัดงอ | ดินไออีซี 60413/501 | 60 | MPa |
| กำลังรับแรงอัด | ดิน 51910 | 130 | MPa |
| โมดูลัสของยัง | ดิน 51915 | 11.5×10³ | MPa |
| การขยายตัวทางความร้อน (20-200 ℃) | ดิน 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| การนำความร้อน (20 ℃) | ดิน 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
ได้รับการออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับการผลิตเซลล์แสงอาทิตย์ประสิทธิภาพสูง โดยรองรับการประมวลผลแผ่นเวเฟอร์ขนาดใหญ่ G12 การออกแบบตัวขนส่งที่ได้รับการปรับปรุงให้เหมาะสมช่วยเพิ่มปริมาณงานได้อย่างมาก ทำให้ได้รับอัตราผลตอบแทนที่สูงขึ้นและต้นทุนการผลิตที่ลดลง
| รายการ | พิมพ์ | ผู้ให้บริการเวเฟอร์จำนวน |
| เรือ Grephite PEVCD - รุ่น 156 | เรือเกรไฟต์ 156-13 | 144 |
| เรือเกรไฟท์ 156-19 | 216 | |
| เรือเกรไฟท์ 156-21 | 240 | |
| เรือกราไฟท์ 156-23 | 308 | |
| เรือ Grephite PEVCD - รุ่น 125 | เรือเกรไฟท์ 125-15 | 196 |
| เรือเกรไฟท์ 125-19 | 252 | |
| เรือกราไฟท์ 125-21 | 280 |
