VET ஆற்றல்சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு கிராஃபைட் தட்டு, பிளேட் மற்றும் கவர் ஆகியவை உயர்மட்ட செயல்திறனை வழங்க வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, நீட்டிக்கப்பட்ட பயன்பாட்டில் நம்பகமான மற்றும் நிலையான செயல்பாட்டை வழங்குகிறது, இது செமிகண்டக்டர் துறையில் செதில் செயலாக்க பயன்பாடுகளுக்கு இன்றியமையாத தேர்வாக அமைகிறது. இந்த உயர் செயல்திறன்சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு கிராஃபைட் தட்டுவிதிவிலக்கான வெப்ப எதிர்ப்பு, சிறந்த வெப்ப சீரான தன்மை மற்றும் சிறந்த இரசாயன நிலைத்தன்மை, குறிப்பாக அதிக வெப்பநிலை நிலைகளில் உள்ளது. அதன் உயர்-தூய்மை கட்டுமானம், மேம்பட்ட அரிப்பு எதிர்ப்புடன் இணைந்து, தேவைப்படும் சூழல்களுக்கு இது இன்றியமையாததாக ஆக்குகிறது.MOCVD சஸ்பெக்டர்கள்.
சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு கிராஃபைட் தட்டு, தட்டு மற்றும் கவர் ஆகியவற்றின் முக்கிய அம்சங்கள்
1. உயர் வெப்பநிலை ஆக்ஸிஜனேற்ற எதிர்ப்பு:1700℃ வரை வெப்பநிலையைத் தாங்கி, தீவிர நிலைகளில் நம்பகத்தன்மையுடன் செயல்பட உதவுகிறது.
2. உயர் தூய்மை மற்றும் வெப்ப சீரான தன்மை:நிலையான உயர் தூய்மை மற்றும் வெப்ப விநியோகம் ஆகியவை MOCVD பயன்பாடுகளுக்கு முக்கியமானவை.
3. விதிவிலக்கான அரிப்பு எதிர்ப்பு:அமிலங்கள், காரங்கள், உப்புகள் மற்றும் பல்வேறு கரிம வினைகளுக்கு எதிர்ப்பு, பல்வேறு சூழல்களில் நீண்ட கால நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது.
4. உயர் கடினத்தன்மை மற்றும் கச்சிதமான மேற்பரப்பு:நுண்ணிய துகள்கள் கொண்ட அடர்த்தியான மேற்பரப்பைக் கொண்டுள்ளது, ஒட்டுமொத்த ஆயுள் மற்றும் அணிய எதிர்ப்பை மேம்படுத்துகிறது.
5. நீட்டிக்கப்பட்ட சேவை வாழ்க்கை:நீண்ட ஆயுளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டது, வழக்கத்தை விட சிறப்பாக செயல்படுகிறதுசிலிக்கான் கார்பைடு-பூசிய கிராஃபைட் சஸ்பெப்டர்கள்கடுமையான குறைக்கடத்தி செயலாக்க சூழல்களில்.
CVD SiC薄膜基本物理性能 CVD SiC இன் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்பூச்சு | |
性质 / சொத்து | 典型数值 / வழக்கமான மதிப்பு |
晶体结构 / படிக அமைப்பு | FCC β கட்டம்多晶,主要为(111)取向 |
密度 / அடர்த்தி | 3.21 g/cm³ |
硬度 / கடினத்தன்மை | 2500 维氏硬度 (500g சுமை) |
晶粒大小 / தானிய அளவு | 2~10μm |
纯度 / இரசாயன தூய்மை | 99.99995% |
热容 / வெப்ப திறன் | 640 ஜே·கிலோ-1·கே-1 |
升华温度 / பதங்கமாதல் வெப்பநிலை | 2700℃ |
抗弯强度 / நெகிழ்வு வலிமை | 415 MPa RT 4-புள்ளி |
杨氏模量 / யங்ஸ் மாடுலஸ் | 430 Gpa 4pt வளைவு, 1300℃ |
导热系数 / தெர்மாஎல்கடத்துத்திறன் | 300W·m-1·கே-1 |
热膨胀系数 / வெப்ப விரிவாக்கம்(CTE) | 4.5×10-6K-1 |
தனிப்பயனாக்கப்பட்ட கிராஃபைட் மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைட் தீர்வுகளில் VET எனர்ஜியின் நிபுணத்துவம்
நம்பகமான உற்பத்தியாளராக, VET எனர்ஜி தனிப்பயன்-வடிவமைக்கப்பட்ட கிராஃபைட் சஸ்பெக்டர்கள் மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு தீர்வுகளில் நிபுணத்துவம் பெற்றது. செமிகண்டக்டர் மற்றும் ஃபோட்டோவோல்டாயிக் தொழில்களுக்கு ஏற்றவாறு தயாரிப்புகளை நாங்கள் வழங்குகிறோம்SiC-பூசப்பட்ட கிராஃபைட் கூறுகள்தட்டுகள், தட்டுகள் மற்றும் கவர்கள் போன்றவை. எங்கள் தயாரிப்பு வரிசையில் பல்வேறு பூச்சு விருப்பங்களும் அடங்கும்MOCVDக்கான SiC பூச்சு, TaC பூச்சு, கண்ணாடி கார்பன் பூச்சு, மற்றும் பைரோலிடிக் கார்பன் பூச்சு, உயர் தொழில்நுட்பத் தொழில்களின் பல்வேறு கோரிக்கைகளை நாங்கள் பூர்த்தி செய்வதை உறுதிசெய்கிறோம்.
எங்கள் அனுபவம் வாய்ந்த தொழில்நுட்பக் குழு, சிறந்த உள்நாட்டு ஆராய்ச்சி நிறுவனங்களின் நிபுணர்களை உள்ளடக்கியது, வாடிக்கையாளர்களுக்கு விரிவான பொருள் தீர்வுகளை வழங்குகிறது. சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு மற்றும் கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு ஆகியவற்றுக்கு இடையேயான பிணைப்பை மேம்படுத்தும் பிரத்யேக காப்புரிமை பெற்ற தொழில்நுட்பம் உட்பட எங்களின் மேம்பட்ட செயல்முறைகளை நாங்கள் தொடர்ந்து செம்மைப்படுத்துகிறோம்.
செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் பயன்பாடுகள் மற்றும் நன்மைகள்
திMOCVDக்கான சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுஉயர் வெப்பநிலை, அரிக்கும் சூழல்களில் இந்த கிராஃபைட் சசெப்டர்களை மிகவும் பயனுள்ளதாக ஆக்குகிறது. கிராஃபைட் வேஃபர் கேரியர்களாக அல்லது மற்ற MOCVD கூறுகளாகப் பயன்படுத்தப்பட்டாலும், இந்த சிலிக்கான் கார்பைடு-பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர்கள் சிறந்த ஆயுள் மற்றும் செயல்திறனைக் காட்டுகின்றன. நம்பகமான தீர்வுகளைத் தேடுபவர்களுக்குSiC-பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சசெப்டர்சந்தை, VET எனர்ஜியின் சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட கிராஃபைட் தட்டு, தட்டு மற்றும் கவர் ஆகியவை செமிகண்டக்டர் தொழில்துறையின் கடுமையான தேவைகளை பூர்த்தி செய்யும் வலுவான மற்றும் பல்துறை விருப்பத்தை வழங்குகின்றன.
மேம்பட்ட பொருள் அறிவியலில் கவனம் செலுத்துவதன் மூலம், செமிகண்டக்டர் செயலாக்கத்தில் புதுமைகளை ஊக்குவிக்கும் மற்றும் அனைத்து MOCVD தொடர்பான பயன்பாடுகளிலும் நம்பகமான செயல்திறனை உறுதிப்படுத்தும் உயர் செயல்திறன் கொண்ட SiC-பூசப்பட்ட கிராஃபைட் தீர்வுகளை வழங்க VET எனர்ஜி உறுதிபூண்டுள்ளது.
VET எனர்ஜி என்பது SiC பூச்சு, TaC பூச்சு, கண்ணாடி கார்பன் பூச்சு, பைரோலிடிக் கார்பன் பூச்சு போன்ற பல்வேறு பூச்சுகள் கொண்ட தனிப்பயனாக்கப்பட்ட கிராஃபைட் மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு தயாரிப்புகளின் உண்மையான உற்பத்தியாளர் ஆகும்.
எங்கள் தொழில்நுட்பக் குழு சிறந்த உள்நாட்டு ஆராய்ச்சி நிறுவனங்களில் இருந்து வருகிறது, மேலும் உங்களுக்கான தொழில்முறை பொருள் தீர்வுகளை வழங்க முடியும்.
மேலும் மேம்பட்ட பொருட்களை வழங்குவதற்கான மேம்பட்ட செயல்முறைகளை நாங்கள் தொடர்ந்து உருவாக்கி வருகிறோம், மேலும் ஒரு பிரத்தியேக காப்புரிமை பெற்ற தொழில்நுட்பத்தை உருவாக்கியுள்ளோம்.
எங்கள் தொழிற்சாலைக்கு வருகை தர உங்களை அன்புடன் வரவேற்கிறோம், மேலும் கலந்துரையாடுவோம்!