VET எனர்ஜி SiC பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர்செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியின் கடுமையான கோரிக்கைகளை பூர்த்தி செய்து, நீடித்த ஆயுட்காலம் முழுவதும் நம்பகமான, சீரான செயல்திறனை வழங்குவதற்காக உன்னிப்பாக வடிவமைக்கப்பட்ட உயர் செயல்திறன் தீர்வு. விதிவிலக்கான வெப்ப எதிர்ப்பு, சிறந்த வெப்ப சீரான தன்மை மற்றும் உயர் தூய்மை ஆகியவற்றைக் கொண்ட இந்தத் தயாரிப்பு, MOCVD வேஃபர் கேரியர்கள் மற்றும் நிலைத்தன்மை மற்றும் துல்லியம் தேவைப்படும் பிற செதில் செயலாக்க பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றதாக உள்ளது. அதன் வலுவான அரிப்பு எதிர்ப்பானது, ஆயுள் மற்றும் இரசாயன மீள்தன்மை அவசியமான சூழல்களுக்கு இது ஒரு பிரீமியம் தேர்வாக அமைகிறது.
எங்கள்SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சஸ்பெப்டர்செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி செயல்பாட்டில் ஒரு முக்கிய அங்கமாக உள்ளது, VET எனர்ஜியின் பிரத்தியேக காப்புரிமை பெற்ற தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்தி மிக உயர்ந்த தூய்மை, உயர்ந்த பூச்சு சீரான தன்மை மற்றும் குறிப்பிடத்தக்க வெப்ப நிலைத்தன்மை ஆகியவற்றை அடைகிறது. பூச்சு உயர் இரசாயன எதிர்ப்பு மற்றும் குறிப்பிடத்தக்க நீட்டிக்கப்பட்ட சேவை வாழ்க்கை கொண்ட கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு அதிகரிக்கிறது. தரத்திற்கான VET எனர்ஜியின் அர்ப்பணிப்பு ஒரு SiC-கோடட் சஸ்பெப்டரை உருவாக்கியுள்ளது, இது கிராஃபைட் வேஃபர் கேரியர் சந்தையின் வளர்ந்து வரும் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்கிறது.MOCVD செயல்முறைகள்.
SiC பூசப்பட்ட சஸ்பெப்டர்களின் முக்கிய அம்சங்கள்:
1. உயர் வெப்பநிலை ஆக்ஸிஜனேற்ற எதிர்ப்பு:1700℃ வரை வெப்பநிலையைத் தாங்கும், இது தீவிர செயலாக்க நிலைமைகளுக்கு ஏற்றது.
2. உயர் தூய்மை மற்றும் வெப்ப சீரான தன்மை:நிலையான முடிவுகளை உறுதி செய்கிறது, முக்கியமானதுMOCVD சஸ்பெக்டர்கள்மற்றும் பிற துல்லியமான பயன்பாடுகள்.
3. சிறந்த அரிப்பு எதிர்ப்பு:அமிலம், காரம், உப்பு மற்றும் பல்வேறு கரிம வினைகளுக்கு மீள்தன்மை கொண்டது.
4. மேம்படுத்தப்பட்ட மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை:அதிக ஆயுள் மற்றும் நீண்ட ஆயுளை வழங்கும் நுண்ணிய துகள்கள் கொண்ட சிறிய மேற்பரப்பு.
5. நீட்டிக்கப்பட்ட சேவை வாழ்க்கை:நீடித்த செயல்திறனுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டது, கடுமையான செயலாக்க சூழல்களில் நிலையான சிலிக்கான் கார்பைடு-பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர்களை விட சிறப்பாக செயல்படுகிறது.
ஒரு முன்னணி உற்பத்தியாளராக, VET எனர்ஜி தனிப்பயனாக்கப்பட்ட கிராஃபைட் மற்றும் நிபுணத்துவம் பெற்றதுசிலிக்கான் கார்பைடு பொருட்கள்உட்பட பல்வேறு பூச்சு விருப்பங்களுடன்SiC பூச்சு, TaC பூச்சு, கண்ணாடி கார்பன் பூச்சு, மற்றும் பைரோலிடிக் கார்பன் பூச்சு. குறிப்பிட்ட செயல்பாட்டுத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்யும் சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சப்செப்டர்களை வழங்குவதன் மூலம் குறைக்கடத்தி மற்றும் ஒளிமின்னழுத்தத் தொழில்களுக்கு நாங்கள் பெருமையுடன் சேவை செய்கிறோம்.
எங்கள் தொழில்நுட்பக் குழு, சிறந்த உள்நாட்டு ஆராய்ச்சி நிறுவனங்களின் அனுபவத்துடன், வளர்ந்து வரும் தேவைகளுக்கான பொருள் தீர்வுகளை மேம்படுத்துவதற்கு அர்ப்பணித்துள்ளது.SiC-பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சசெப்டர்சந்தை. எங்கள் காப்புரிமை பெற்ற செயல்முறையின் மூலம், VET எனர்ஜி தனித்துவமான தொழில்நுட்பத்தை உருவாக்கியுள்ளது, இது சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு மற்றும் அடி மூலக்கூறுக்கு இடையிலான பிணைப்பு வலிமையை கணிசமாக மேம்படுத்துகிறது, இது பற்றின்மை அபாயத்தைக் குறைக்கிறது மற்றும் நீண்ட கால நம்பகத்தன்மையை அதிகரிக்கிறது.
செமிகண்டக்டர் செயலாக்கத்தில் பயன்பாடுகள் மற்றும் நன்மைகள்
திMOCVDக்கான SiC பூச்சுசெயல்படுத்துகிறதுகிராஃபைட் உறிஞ்சிதுல்லியமான குறைக்கடத்தி உற்பத்திக்கு இன்றியமையாத உயர் வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் சூழல்களின் கீழ் ஒருமைப்பாட்டைப் பேணுவதற்கான கூறுகள். இந்த SiC-பூசப்பட்ட கிராஃபைட் கூறுகள் குறிப்பாக சிலிக்கான் கார்பைடு-பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர்கள் தேவைப்படும் செயல்முறைகளில் மதிப்பிடப்படுகின்றன.கிராஃபைட் செதில் கேரியர்கள், இது அதிக வெப்ப நிலைத்தன்மை, தூய்மை மற்றும் இரசாயன அரிப்புக்கு எதிர்ப்பைக் கோருகிறது.
எங்களின் மேம்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு நுட்பங்களுடன், தனிப்பயனாக்கப்பட்ட, உயர்-செயல்திறனை வழங்குவதன் மூலம் கிராஃபைட் வேஃபர் கேரியர் சந்தையை VET எனர்ஜி தொடர்ந்து ஆதரிக்கிறது.SiC-பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சஸ்செப்டர்கள்MOCVD செயல்முறைகள் முதல் குறைக்கடத்தி துறையில் உயர்-தூய்மை பயன்பாடுகள் வரை தொழில் சார்ந்த சவால்களை எதிர்கொள்ளும்.