முதலில், நாம் தெரிந்து கொள்ள வேண்டும்PECVD(பிளாஸ்மா மேம்படுத்தப்பட்ட இரசாயன நீராவி படிவு). பிளாஸ்மா என்பது பொருள் மூலக்கூறுகளின் வெப்ப இயக்கத்தை தீவிரப்படுத்துவதாகும். அவற்றுக்கிடையேயான மோதல் வாயு மூலக்கூறுகளை அயனியாக்கம் செய்யும், மேலும் பொருள் சுதந்திரமாக நகரும் நேர்மறை அயனிகள், எலக்ட்ரான்கள் மற்றும் நடுநிலை துகள்களின் கலவையாக மாறும்.
சிலிக்கான் மேற்பரப்பில் ஒளியின் பிரதிபலிப்பு இழப்பு விகிதம் சுமார் 35% வரை அதிகமாக இருப்பதாக மதிப்பிடப்பட்டுள்ளது. எதிர்ப்பு பிரதிபலிப்பு படம் பேட்டரி செல் மூலம் சூரிய ஒளியின் பயன்பாட்டு விகிதத்தை பெரிதும் மேம்படுத்துகிறது, இது ஒளிச்சேர்க்கை மின்னோட்ட அடர்த்தியை அதிகரிக்க உதவுகிறது, இதனால் மாற்றும் திறனை மேம்படுத்துகிறது. அதே நேரத்தில், படத்தில் உள்ள ஹைட்ரஜன் பேட்டரி கலத்தின் மேற்பரப்பை செயலிழக்கச் செய்கிறது, உமிழ்ப்பான் சந்திப்பின் மேற்பரப்பு மறுசீரமைப்பு வீதத்தைக் குறைக்கிறது, இருண்ட மின்னோட்டத்தைக் குறைக்கிறது, திறந்த சுற்று மின்னழுத்தத்தை அதிகரிக்கிறது மற்றும் ஒளிமின்னழுத்த மாற்ற செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறது. பர்ன்-த்ரூ செயல்பாட்டில் உயர்-வெப்பநிலை உடனடி அனீலிங் சில Si-H மற்றும் NH பிணைப்புகளை உடைக்கிறது, மேலும் விடுவிக்கப்பட்ட H பேட்டரியின் செயலற்ற தன்மையை மேலும் பலப்படுத்துகிறது.
ஒளிமின்னழுத்த-தர சிலிக்கான் பொருட்கள் தவிர்க்க முடியாமல் அதிக அளவு அசுத்தங்கள் மற்றும் குறைபாடுகளைக் கொண்டிருப்பதால், சிறுபான்மை கேரியர் ஆயுட்காலம் மற்றும் சிலிக்கானில் பரவல் நீளம் குறைக்கப்படுகிறது, இதன் விளைவாக பேட்டரியின் மாற்றும் திறன் குறைகிறது. H ஆனது சிலிக்கானில் உள்ள குறைபாடுகள் அல்லது அசுத்தங்களுடன் வினைபுரியும், இதன் மூலம் பேண்ட்கேப்பில் உள்ள ஆற்றல் பட்டையை வேலன்ஸ் பேண்ட் அல்லது கடத்தல் பேண்டிற்கு மாற்றுகிறது.
1. PECVD கோட்பாடு
PECVD அமைப்பு என்பது ஜெனரேட்டர்களைப் பயன்படுத்தும் ஒரு தொடர் ஆகும்PECVD கிராஃபைட் படகு மற்றும் உயர் அதிர்வெண் பிளாஸ்மா தூண்டிகள். பிளாஸ்மா ஜெனரேட்டர் நேரடியாக பூச்சு தட்டின் நடுவில் குறைந்த அழுத்தம் மற்றும் உயர்ந்த வெப்பநிலையின் கீழ் செயல்படும் வகையில் நிறுவப்பட்டுள்ளது. பயன்படுத்தப்படும் செயலில் உள்ள வாயுக்கள் சிலேன் SiH4 மற்றும் அம்மோனியா NH3 ஆகும். இந்த வாயுக்கள் சிலிக்கான் செதில்களில் சேமிக்கப்பட்ட சிலிக்கான் நைட்ரைடில் செயல்படுகின்றன. சிலேன் மற்றும் அம்மோனியா விகிதத்தை மாற்றுவதன் மூலம் வெவ்வேறு ஒளிவிலகல் குறியீடுகளைப் பெறலாம். படிவு செயல்பாட்டின் போது, அதிக அளவு ஹைட்ரஜன் அணுக்கள் மற்றும் ஹைட்ரஜன் அயனிகள் உருவாக்கப்படுகின்றன, இது செதில்களின் ஹைட்ரஜன் செயலற்ற தன்மையை நன்றாக ஆக்குகிறது. ஒரு வெற்றிடத்திலும் சுற்றுப்புற வெப்பநிலையிலும் 480 டிகிரி செல்சியஸ், SixNy இன் அடுக்கு சிலிக்கான் செதில்களின் மேற்பரப்பில் பூசப்படுகிறது.PECVD கிராஃபைட் படகு.
3SiH4+4NH3 → Si3N4+12H2
2. Si3N4
Si3N4 படத்தின் நிறம் அதன் தடிமனுடன் மாறுகிறது. பொதுவாக, சிறந்த தடிமன் 75 மற்றும் 80 nm வரை இருக்கும், இது அடர் நீல நிறத்தில் தோன்றும். Si3N4 ஃபிலிமின் ஒளிவிலகல் குறியீடு 2.0 மற்றும் 2.5 க்கு இடையில் சிறந்தது. ஆல்கஹால் பொதுவாக அதன் ஒளிவிலகல் குறியீட்டை அளவிட பயன்படுகிறது.
சிறந்த மேற்பரப்பு செயலற்ற விளைவு, திறமையான ஆப்டிகல் எதிர்ப்பு பிரதிபலிப்பு செயல்திறன் (தடிமன் ஒளிவிலகல் குறியீட்டு பொருத்தம்), குறைந்த வெப்பநிலை செயல்முறை (செலவுகளை திறம்பட குறைக்கிறது), மற்றும் உருவாக்கப்பட்ட H அயனிகள் சிலிக்கான் செதில் மேற்பரப்பை செயலிழக்கச் செய்கின்றன.
3. பூச்சு பட்டறையில் பொதுவான விஷயங்கள்
திரைப்பட தடிமன்:
வெவ்வேறு பட தடிமன்களுக்கு படிவு நேரம் வேறுபட்டது. பூச்சுகளின் நிறத்திற்கு ஏற்ப படிவு நேரத்தை சரியான முறையில் அதிகரிக்க வேண்டும் அல்லது குறைக்க வேண்டும். படம் வெண்மையாக இருந்தால், படிவு நேரத்தை குறைக்க வேண்டும். சிவப்பு நிறமாக இருந்தால், அதை சரியான முறையில் அதிகரிக்க வேண்டும். படங்களின் ஒவ்வொரு படகும் முழுமையாக உறுதிப்படுத்தப்பட வேண்டும், மேலும் குறைபாடுள்ள தயாரிப்புகள் அடுத்த செயல்முறைக்கு செல்ல அனுமதிக்கப்படாது. எடுத்துக்காட்டாக, வண்ணப் புள்ளிகள் மற்றும் வாட்டர்மார்க்ஸ் போன்ற பூச்சு மோசமாக இருந்தால், மிகவும் பொதுவான மேற்பரப்பு வெண்மை, நிற வேறுபாடு மற்றும் உற்பத்தி வரிசையில் உள்ள வெள்ளை புள்ளிகள் ஆகியவை சரியான நேரத்தில் எடுக்கப்பட வேண்டும். மேற்பரப்பு வெண்மையாதல் முக்கியமாக தடிமனான சிலிக்கான் நைட்ரைடு படத்தால் ஏற்படுகிறது, இது பட படிவு நேரத்தை சரிசெய்வதன் மூலம் சரிசெய்யப்படலாம்; நிற வேறுபாடு படம் முக்கியமாக வாயு பாதை அடைப்பு, குவார்ட்ஸ் குழாய் கசிவு, நுண்ணலை செயலிழப்பு போன்றவற்றால் ஏற்படுகிறது. வெள்ளை புள்ளிகள் முக்கியமாக முந்தைய செயல்பாட்டில் சிறிய கருப்பு புள்ளிகளால் ஏற்படுகின்றன. பிரதிபலிப்பு, ஒளிவிலகல் குறியீடு, முதலியன கண்காணிப்பு, சிறப்பு வாயுக்களின் பாதுகாப்பு, முதலியன.
மேற்பரப்பில் வெள்ளை புள்ளிகள்:
PECVD என்பது சூரிய மின்கலங்களில் ஒப்பீட்டளவில் முக்கியமான செயல்முறையாகும் மற்றும் ஒரு நிறுவனத்தின் சூரிய மின்கலங்களின் செயல்திறனின் முக்கியமான குறிகாட்டியாகும். PECVD செயல்முறை பொதுவாக பிஸியாக இருக்கும், மேலும் ஒவ்வொரு தொகுதி செல்களும் கண்காணிக்கப்பட வேண்டும். பல பூச்சு உலை குழாய்கள் உள்ளன, மேலும் ஒவ்வொரு குழாயிலும் பொதுவாக நூற்றுக்கணக்கான செல்கள் உள்ளன (உபகரணங்களைப் பொறுத்து). செயல்முறை அளவுருக்களை மாற்றிய பின், சரிபார்ப்பு சுழற்சி நீண்டது. பூச்சு தொழில்நுட்பம் என்பது முழு ஒளிமின்னழுத்த தொழிற்துறையும் மிகுந்த முக்கியத்துவம் வாய்ந்த ஒரு தொழில்நுட்பமாகும். பூச்சு தொழில்நுட்பத்தை மேம்படுத்துவதன் மூலம் சூரிய மின்கலங்களின் செயல்திறனை மேம்படுத்தலாம். எதிர்காலத்தில், சூரிய மின்கல மேற்பரப்பு தொழில்நுட்பம் சூரிய மின்கலங்களின் தத்துவார்த்த செயல்திறனில் ஒரு திருப்புமுனையாக மாறக்கூடும்.
இடுகை நேரம்: டிசம்பர்-23-2024