Drag:
· Utmärkt motståndskraft mot termisk stöt
· Utmärkt fysisk stöttålighet
· Utmärkt kemisk beständighet
· Superhög renhet
· Tillgänglighet i komplex form
·Användbar under oxiderande atmosfär
Ansökan:
Produktegenskaper och fördelar:
1. Överlägsen termisk resistans:Med en hög renhetSiC-beläggning, substratet tål extrema temperaturer, vilket säkerställer konsekvent prestanda i krävande miljöer som epitaxi och halvledartillverkning.
2. Förbättrad hållbarhet:De SiC-belagda grafitkomponenterna är designade för att motstå kemisk korrosion och oxidation, vilket ökar substratets livslängd jämfört med standardgrafitsubstrat.
3. Glasaktig belagd grafit:Den unika glaskroppens strukturSiC-beläggningger utmärkt ythårdhet, vilket minimerar slitage vid högtemperaturbearbetning.
4. SiC-beläggning med hög renhet:Vårt substrat säkerställer minimal kontaminering i känsliga halvledarprocesser, vilket erbjuder tillförlitlighet för industrier som kräver strikt materialrenhet.
5. Bred marknadsapplikation:DeSiC-belagd grafitsusceptormarknaden fortsätter att växa i takt med att efterfrågan på avancerade SiC-belagda produkter inom halvledartillverkning ökar, vilket positionerar detta substrat som en nyckelspelare på både marknaden för bärare för grafitwafer och marknaden för kiselkarbidbelagda grafittråg.
Typiska egenskaper för basgrafitmaterial:
| Skenbar densitet: | 1,85 g/cm3 |
| Elektrisk resistivitet: | 11 μΩm |
| Böjstyrka: | 49 MPa (500 kgf/cm2) |
| Shore hårdhet: | 58 |
| Aska: | <5 ppm |
| Värmeledningsförmåga: | 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃) |
| CVD SiC薄膜基本物理性能 Grundläggande fysikaliska egenskaper hos CVD SiCbeläggning | |
| 性质 / Fastighet | 典型数值 / Typiskt värde |
| 晶体结构 / Kristallstruktur | FCC β phase 多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Densitet | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Hårdhet | 2500 维氏硬度（500g last） |
| 晶粒大小 / kornstorlek | 2~10μm |
| 纯度 / Kemisk renhet | 99,99995 % |
| 热容 / Värmekapacitet | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Sublimeringstemperatur | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 / Flexural Strength | 415 MPa RT 4-punkts |
| 杨氏模量 / Young's Modulus | 430 Gpa 4pt böj, 1300℃ |
| 导热系数 / Värmeledningsförmåga | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Termisk expansion (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VET Energy är den verkliga tillverkaren av skräddarsydda grafit- och kiselkarbidprodukter med olika beläggningar som SiC-beläggning, TaC-beläggning, glasartad kolbeläggning, pyrolytisk kolbeläggning, etc., kan leverera olika skräddarsydda delar för halvledar- och solcellsindustrin.
Vårt tekniska team kommer från de bästa inhemska forskningsinstitutioner, kan tillhandahålla mer professionella materiallösningar för dig.
Vi utvecklar kontinuerligt avancerade processer för att tillhandahålla mer avancerade material, och har arbetat fram en exklusiv patenterad teknologi, som kan göra bindningen mellan beläggningen och underlaget tätare och mindre benägen att lossna.
Varmt välkommen att besöka vår fabrik, låt oss diskutera vidare!
