SiC-beläggning/belagd grafitsubstrat/bricka för halvledare

Kort beskrivning:

VET Energy SiC Coated Graphite Susceptor for Epitaxial Growth är en högpresterande produkt designad för att ge konsekvent och pålitlig prestanda under en längre period.Den har superbra värmebeständighet och termisk enhetlighet, hög renhet, erosionsbeständighet, vilket gör den till den perfekta lösningen för waferbearbetningstillämpningar.


Produktdetalj

Produkttaggar

SiC-beläggning/belagd av grafitsusceptor för halvledare
 
SiC Coated Graphite Susceptor är en nyckelkomponent som används i olika halvledartillverkningsprocesser.Vi använder vår patenterade teknologi för att göra kiselkarbidbäraren med extremt hög renhet, god beläggningslikformighet och utmärkt livslängd, samt hög kemisk beständighet och termiska stabilitetsegenskaper.

 Funktioner: 
· Utmärkt motståndskraft mot termisk stöt
· Utmärkt fysisk stöttålighet
· Utmärkt kemisk beständighet
· Superhög renhet
· Tillgänglighet i komplex form
·Användbar under oxiderande atmosfär

Ansökan:

3

Typiska egenskaper för basgrafitmaterial:

Skenbar densitet: 1,85 g/cm3
Elektrisk resistans: 11 μΩm
Böjstyrka: 49 MPa (500 kgf/cm2)
Strand hårdhet: 58
Aska: <5 ppm
Värmeledningsförmåga: 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

 

CVD SiC薄膜基本物理性能

Grundläggande fysikaliska egenskaper hos CVD SiCbeläggning

性质 / Fastighet

典型数值 / Typiskt värde

晶体结构 / Kristallstruktur

FCC β phase 多晶,主要为(111)取向

密度 / Densitet

3,21 g/cm³

硬度 / Hårdhet

2500 维氏硬度(500g last)

晶粒大小 / kornstorlek

2~10μm

纯度 / Kemisk renhet

99,99995 %

热容 / Värmekapacitet

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Sublimeringstemperatur

2700℃

抗弯强度 / Flexural Strength

415 MPa RT 4-punkts

杨氏模量 / Young's Modulus

430 Gpa 4pt böj, 1300℃

导热系数 / Värmeledningsförmåga

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Termisk expansion (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

 

VET Energy är den verkliga tillverkaren av skräddarsydda grafit- och kiselkarbidprodukter med olika beläggningar som SiC-beläggning, TaC-beläggning, glasartad kolbeläggning, pyrolytisk kolbeläggning, etc., kan leverera olika skräddarsydda delar för halvledar- och solcellsindustrin.

Vårt tekniska team kommer från de bästa inhemska forskningsinstitutioner, kan tillhandahålla mer professionella materiallösningar för dig.

Vi utvecklar kontinuerligt avancerade processer för att tillhandahålla mer avancerade material, och har arbetat fram en exklusiv patenterad teknologi, som kan göra bindningen mellan beläggningen och underlaget tätare och mindre benägen att lossna.

Varmt välkommen att besöka vår fabrik, låt oss diskutera vidare!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • Tidigare:
  • Nästa:

  • WhatsApp onlinechatt!