PECVD laddningsbricka Deponeringsbricka av grafit

PECVD laddningsbricka Deposition Grafitbricka Utvald bild

Kort beskrivning:

VET Energys PECVD-laddningsbricka är utformad för att ge säkert och jämnt stöd för wafers under deponering, vilket förbättrar konsistensen och kvaliteten på deponeringsprocessen. Med sin utmärkta värmebeständighet hjälper grafitbrickan till att upprätthålla en kontrollerad miljö inuti PECVD-kammare, vilket minskar risken för kontaminering och säkerställer hög processeffektivitet.

Skicka e-post till oss Ladda ner som PDF

Produktdetaljer

Produkttaggar

VET Energy PECVD laddningsbricka är en precisionsbärare designad för PECVD-process (plasmaförstärkt kemisk ångavsättning). Denna högkvalitativa grafitbricka är gjord av grafitmaterial med hög renhet och hög densitet. Den har utmärkt högtemperaturbeständighet, korrosionsbeständighet, dimensionsstabilitet och andra egenskaper. Det kan tillhandahålla en stabil bärarplattform för PECVD-process och säkerställa enhetlighet och planhet av filmavsättning.

VET Energy PECVD-lastbrickor används i stor utsträckning inom halvledar-, solcells-, LED- och andra områden. Till exempel:

▪ Halvledare: PECVD-process för halvledarmaterial som kiselskivor och epitaxiella wafers.

▪ Solceller: PECVD-process för solcellstunna filmer.

▪ LED: PECVD-process för LED-chips.

Produktfördelar

▪Förbättra filmkvaliteten:Säkerställ enhetlig filmavsättning och förbättra filmkvaliteten.

▪Förläng utrustningens livslängd:Utmärkt korrosionsbeständighet, förläng livslängden för PECVD-utrustning.

▪Minska produktionskostnaderna:Grafitbrickor av hög kvalitet kan minska skrothastigheten och minska produktionskostnaderna.

Grafitmaterial från SGL:

Typisk parameter: R6510
Index	Teststandard	Värde	Enhet
Genomsnittlig kornstorlek	ISO 13320	10	μm
Bulkdensitet	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Öppen porositet	DIN66133	10	%
Medelstor porstorlek	DIN66133	1.8	μm
Permeabilitet	DIN 51935	0,06	cm²/s
Rockwell hårdhet HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Specifik elektrisk resistivitet	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Böjhållfasthet	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Tryckhållfasthet	DIN 51910	130	MPa
Youngs modul	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Termisk expansion (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Värmeledningsförmåga (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Den är speciellt designad för högeffektiv solcellstillverkning och stöder bearbetning av stora G12-skivor. Optimerad bärardesign ökar genomströmningen avsevärt, vilket möjliggör högre avkastning och lägre produktionskostnader.

Punkt	Typ	Nummer waferbärare
PEVCD Grephite-båt - 156-serien	156-13 grepitbåt	144
	156-19 grepitbåt	216
	156-21 grepitbåt	240
	156-23 grafitbåt	308
PEVCD Grephite-båt - 125-serien	125-15 grephitbåt	196
	125-19 grepitbåt	252
	125-21 grphitbåt	280