VET Energy PECVD-process grafitwafer-stöd är en förbrukningsvara som är designad för PECVD-process (plasmaförstärkt kemisk ångavsättning). Denna produkt är gjord av högrenhet, högdensitetsgrafitmaterial, med utmärkt högtemperaturbeständighet, korrosionsbeständighet, dimensionsstabilitet och andra egenskaper, kan ge en stabil stödplattform för PECVD-processen, för att säkerställa enhetlighet och planhet av filmavsättning.
"Grafitstöd"-designen av VET Energy-grafitwaferstöd kan inte bara effektivt stödja wafern, utan också ge termisk stabilitet i PECVD-miljön med hög temperatur och högt tryck för att säkerställa processens stabilitet.
VET Energy PECVD process grafit wafer stöd har följande egenskaper:
▪Hög renhet:extremt låg föroreningshalt, undvik kontaminering av filmen, för att säkerställa filmens kvalitet.
▪Hög densitet:hög densitet, hög mekanisk hållfasthet, tål hög temperatur och högtryck PECVD miljö.
▪Bra dimensionsstabilitet:små dimensionsförändringar vid hög temperatur för att säkerställa processens stabilitet.
▪Utmärkt värmeledningsförmåga:överför effektivt värme för att förhindra överhettning av wafer.
▪Stark korrosionsbeständighet:Kan motstå erosion av olika frätande gaser och plasma.
▪Anpassad service:Grafitstödbord i olika storlekar och former kan anpassas efter kundens behov.
Grafitmaterial från SGL:
| Typisk parameter: R6510 | |||
| Index | Teststandard | Värde | Enhet |
| Genomsnittlig kornstorlek | ISO 13320 | 10 | μm |
| Bulkdensitet | DIN IEC 60413/204 | 1,83 | g/cm3 |
| Öppen porositet | DIN66133 | 10 | % |
| Medelstor porstorlek | DIN66133 | 1.8 | μm |
| Permeabilitet | DIN 51935 | 0,06 | cm²/s |
| Rockwell hårdhet HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Specifik elektrisk resistivitet | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Böjhållfasthet | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Tryckhållfasthet | DIN 51910 | 130 | MPa |
| Youngs modul | DIN 51915 | 11,5×10³ | MPa |
| Termisk expansion (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4,2X10-6 | K-1 |
| Värmeledningsförmåga (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Den är speciellt designad för högeffektiv solcellstillverkning och stöder bearbetning av stora G12-skivor. Optimerad bärardesign ökar genomströmningen avsevärt, vilket möjliggör högre avkastning och lägre produktionskostnader.
| Punkt | Typ | Nummer waferbärare |
| PEVCD Grephite-båt - 156-serien | 156-13 grepitbåt | 144 |
| 156-19 grepitbåt | 216 | |
| 156-21 grepitbåt | 240 | |
| 156-23 grafitbåt | 308 | |
| PEVCD Grephite-båt - 125-serien | 125-15 grephitbåt | 196 |
| 125-19 grepitbåt | 252 | |
| 125-21 grphitbåt | 280 |
