VET Energy graphite wafer boat är en högkvalitativ förbrukningsvara som är skräddarsydd för deponeringsprocesser inom halvledar-, solcells- och andra industrier. Tillverkad av högrent grafitmaterial med hög densitet, denna produkt har utmärkt högtemperaturbeständighet, korrosionsbeständighet, dimensionsstabilitet och andra egenskaper, och kan tillhandahålla en stabil bärarplattform för avsättningsprocessen för att säkerställa enhetlighet och planhet av tunnfilmsavsättning .
PECVD-grafitbåten från VET Energy är tillverkad av isostatisk grafit med hög renhet, med porositet under 15 % och ytjämnhet Ra≤1,6μm. Den överlägsna dimensionsstabiliteten och värmeledningsförmågan säkerställer enhetlig filmavsättning och förbättrad celleffektivitet.
Grafitmaterial från SGL:
| Typisk parameter: R6510 | |||
| Index | Teststandard | Värde | Enhet |
| Genomsnittlig kornstorlek | ISO 13320 | 10 | μm |
| Bulkdensitet | DIN IEC 60413/204 | 1,83 | g/cm3 |
| Öppen porositet | DIN66133 | 10 | % |
| Medelstor porstorlek | DIN66133 | 1.8 | μm |
| Permeabilitet | DIN 51935 | 0,06 | cm²/s |
| Rockwell hårdhet HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Specifik elektrisk resistivitet | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Böjhållfasthet | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Tryckhållfasthet | DIN 51910 | 130 | MPa |
| Youngs modul | DIN 51915 | 11,5×10³ | MPa |
| Termisk expansion (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4,2X10-6 | K-1 |
| Värmeledningsförmåga (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Den är speciellt designad för högeffektiv solcellstillverkning och stöder bearbetning av stora G12-skivor. Optimerad bärardesign ökar genomströmningen avsevärt, vilket möjliggör högre avkastning och lägre produktionskostnader.
| Punkt | Typ | Nummer waferbärare |
| PEVCD Grephite-båt - 156-serien | 156-13 grepitbåt | 144 |
| 156-19 grepitbåt | 216 | |
| 156-21 grepitbåt | 240 | |
| 156-23 grafitbåt | 308 | |
| PEVCD Grephite-båt - 125-serien | 125-15 grephitbåt | 196 |
| 125-19 grepitbåt | 252 | |
| 125-21 grphitbåt | 280 |
