Vilken funktion har PECVD grafitbåt?

Som bärare av normala kiselwafers i produktionen av beläggningsprocessen, dengrafit båthar många båtwafers med ett visst intervall i strukturen, och det är ett mycket smalt utrymme mellan två intilliggande båtwafers, och kiselwafers placeras på båda sidor om den tomma dörren.

Eftersom grafit, materialet i grafitbåten, har god ledningsförmåga och värmeledningsförmåga, anbringas en växelspänning mellan två intilliggande båtar för att bilda positiva och negativa elektroder. När det finns ett visst lufttryck och gas i kammaren uppstår en glödurladdning mellan de två båtarna. Glödurladdningen kan sönderdela SiH4- och NH3-gas i utrymmet, bilda Si- och N-joner och kombineras för att bilda SiNx-molekyler. Den avsätts på ytan av kiselskivan för att uppnå syftet med beläggning.

Som en bärare av solcellsantireflektionsbeläggning påverkar strukturen och storleken på grafitbåten direkt omvandlingseffektiviteten och produktionseffektiviteten hos kiselskivor. Efter år av teknisk forskning och utveckling har vårt företag nu avancerad produktionsutrustning, mogna teknikdesigners och erfaren produktionspersonal, och materialen är importerade råvaror. För närvarande har grafitbåten som tillverkas av vårt företag fördelarna med hög effektivitet. Strukturen är enkel och avståndet mellan grafitbåten är rimligt, vilket gör beläggningen av kiselskivan enhetlig, förbättrar kvaliteten på kiselskivan och gör solenergiomvandlingseffektiviteten hög. Shijin Company har alla typer av bläckbåtar som marknaden behöver nu

21


Posttid: 2021-08-08
WhatsApp onlinechatt!