Under ångfasepitaxi (VPE)-processen är piedestalens roll att stödja substratet och säkerställa jämn uppvärmning under tillväxtprocessen. Olika typer av piedestaler lämpar sig för olika växtförhållanden och materialsystem. Följande är några av de vanligast använda piedestaltyperna i ångfasepitaxi:
Piedestal för fat
Piedestals används vanligtvis i horisontella eller lutade ångfas epitaxisystem. De kan hålla substratet och låta gasen strömma över substratet, vilket hjälper till att uppnå en jämn epitaxiell tillväxt.
Skivformad piedestal (vertikal piedestal)
Skivformade piedestaler är lämpliga för vertikala epitaxisystem i ångfas, där substratet placeras vertikalt. Denna design hjälper till att minska kontaktytan mellan substratet och susceptorn, vilket minskar värmeförlusten och potentiell kontaminering.
Horisontell susceptor
Horisontella susceptorer är mindre vanliga i ångfasepitaxi, men kan användas i vissa specifika tillväxtsystem för att möjliggöra epitaxiell tillväxt i horisontell riktning.
Monolitisk epitaxiell reaktionssusceptor
Den monolitiska epitaxiella reaktionssusceptorn är designad för ett enda substrat, vilket kan ge mer exakt temperaturkontroll och bättre termisk isolering, lämplig för tillväxt av högkvalitativa epitaxiella lager.
Välkommen till vår hemsida för produktinformation och konsultation.
Vår hemsida: https://www.vet-china.com/
Posttid: 30 juli 2024