Huvudfunktionerna förkiselkarbidbåtstöd och kvartsbåtstöd är samma.Kiselkarbidbåtsupport har utmärkt prestanda men högt pris. Det utgör ett alternativt förhållande till kvartsbåtstöd i batteribearbetningsutrustning med tuffa arbetsförhållanden (såsom LPCVD-utrustning och bordiffusionsutrustning). I batteribearbetningsutrustning med vanliga arbetsförhållanden, på grund av prisrelationer, blir kiselkarbid och kvartsbåtsstöd samexisterande och konkurrerande kategorier.
① Substitutionsförhållande i LPCVD och bor diffusionsutrustning
LPCVD-utrustning används för oxidation av battericellstunnlar och beredningsprocess för dopat polykiselskikt. Arbetsprincip:
Under lågtrycksatmosfär, kombinerat med lämplig temperatur, uppnås kemisk reaktion och bildning av avsättningsfilm för att framställa ultratunt tunneloxidskikt och polykiselfilm. I processen för oxidation av tunnel och dopat polykiselskikt har båtstödet en hög arbetstemperatur och en kiselfilm kommer att avsättas på ytan. Den termiska expansionskoefficienten för kvarts är helt annorlunda än den för kisel. När det används i ovanstående process är det nödvändigt att regelbundet beta och ta bort kisel som avsatts på ytan för att förhindra att kvartsbåtstödet går sönder på grund av termisk expansion och sammandragning på grund av den andra termiska expansionskoefficienten från kisel. På grund av frekvent betning och låg hållfasthet vid hög temperatur har kvartsbåtshållaren en kort livslängd och byts ofta ut i tunneloxidation och dopade polykiselskiktsförberedelseprocess, vilket avsevärt ökar produktionskostnaden för battericellen. Expansionskoefficienten förkiselkarbidär nära den för kisel. Den integreradekiselkarbidbåthållaren kräver inte betning i tunneloxidation och beredning av dopat polykiselskikt. Den har hög hållfasthet vid hög temperatur och lång livslängd. Det är ett bra alternativ till kvartsbåtshållaren.
Borexpansionsutrustning används huvudsakligen för processen att dopa borelement på N-typ kiselwafersubstratet i battericellen för att förbereda P-typ emitter för att bilda en PN-övergång. Arbetsprincipen är att realisera kemisk reaktion och molekylär deponeringsfilmbildning i en atmosfär med hög temperatur. Efter att filmen har formats kan den spridas genom högtemperaturuppvärmning för att realisera dopningsfunktionen hos kiselskivans yta. På grund av borexpansionsutrustningens höga arbetstemperatur har kvartsbåthållaren låg högtemperaturhållfasthet och kort livslängd i borexpansionsutrustningen. Den integreradekiselkarbidbåthållaren har hög hållfasthet vid hög temperatur och är ett bra alternativ till kvartsbåtshållaren i borexpansionsprocessen.
② Substitutionsförhållande i annan processutrustning
SiC-båtstöd har snäv produktionskapacitet och utmärkt prestanda. Deras prissättning är i allmänhet högre än för båtstöd av kvarts. I allmänna arbetsförhållanden för cellbearbetningsutrustning är skillnaden i livslängd mellan SiC-båtstöd och kvartsbåtstöd liten. Nedströmskunder jämför och väljer främst mellan pris och prestanda utifrån sina egna processer och behov. SiC-båtstöd och kvartsbåtstöd har blivit samexisterande och konkurrenskraftiga. Bruttovinstmarginalen för SiC-båtstöd är dock relativt hög för närvarande. Med nedgången i produktionskostnaden för SiC-båtstöd, om försäljningspriset på SiC-båtstöd aktivt sjunker, kommer det också att innebära en större konkurrenskraft för kvartsbåtstöd.
Användningsförhållande
Cellteknikvägen är huvudsakligen PERC-teknik och TOPCon-teknik. Marknadsandelen för PERC-teknologin är 88% och marknadsandelen för TOPCon-teknologin är 8,3%. Den kombinerade marknadsandelen för de två är 96,30 %.
Som visas i figuren nedan:
I PERC-tekniken krävs båtstöd för de främre fosfordiffusions- och glödgningsprocesserna. I TOPCon-teknologin krävs båtstöd för den främre bordiffusionen, LPCVD, bakre fosfordiffusion och glödgningsprocesser. För närvarande används båtstöd av kiselkarbid huvudsakligen i LPCVD-processen av TOPCon-teknik, och deras tillämpning i bordiffusionsprocessen har huvudsakligen verifierats.
Figur Användning av båtstöd i cellbearbetningsprocessen
Obs: Efter front- och bakbeläggningen av PERC- och TOPCon-teknologier finns det fortfarande länkar som screentryck, sintring och testning och sortering, som inte involverar användning av båtstöd och som inte är listade i ovanstående figur.
Posttid: 15 oktober 2024